三星計(jì)劃大量引進(jìn)韓國(guó)企業(yè)SEMES的蝕刻設(shè)備，該設(shè)備原先主要由日本半導(dǎo)體設(shè)備大廠(chǎng)東京威力科創(chuàng)（TEL）提供。韓國(guó)業(yè)界期待，韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備能提升前段制程中的使用比重。

韓媒報(bào)道指出，明年上半年，三星電子計(jì)劃在中國(guó)西安第2工廠(chǎng)中增加SEMES的設(shè)備比重。西安工廠(chǎng)是三星電子唯一設(shè)廠(chǎng)在海外的存儲(chǔ)器半導(dǎo)體生產(chǎn)基地。去年3月起，三星電子開(kāi)始在該地設(shè)廠(chǎng)，預(yù)定明年上半年啟動(dòng)，未來(lái)該工廠(chǎng)主要將生產(chǎn)5代V-NAND閃存與100層以上的高端產(chǎn)品。

三星電子為將SEMES的蝕刻設(shè)備應(yīng)用于5代NAND制程，正在進(jìn)行最后階段產(chǎn)品測(cè)試。第5代NAND閃存是去年三星電子首次量產(chǎn)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品制程也是首次使用SEMES蝕刻設(shè)備。

韓國(guó)科技媒體《etnews》報(bào)道指出，雖然三星電子也曾使用過(guò)SEMES的蝕刻設(shè)備，但此次投入的SEMES蝕刻設(shè)備規(guī)模非常大，加上可能會(huì)威脅到東京威力科創(chuàng)，引發(fā)外界關(guān)注。

蝕刻制程是制造半導(dǎo)體相當(dāng)重要的環(huán)節(jié)之一，能夠讓線(xiàn)路成型，也能清潔芯片，需要高技術(shù)性的設(shè)備。目前三星電子、SK海力士等韓國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)擁有國(guó)際等級(jí)的記憶體技術(shù)，但背后的制造設(shè)備幾乎仰賴(lài)海外企業(yè)，因此許多韓國(guó)專(zhuān)家們贊賞韓國(guó)設(shè)備技術(shù)國(guó)產(chǎn)化的進(jìn)展。

不少人期待，在新一代存儲(chǔ)器制程中，三星電子能增加使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的比例。但目前業(yè)界普遍認(rèn)為，此案例也側(cè)面印證韓國(guó)設(shè)備技術(shù)已經(jīng)趕上國(guó)外企業(yè)的技術(shù)水平。