近期，突如其來的新型冠狀病毒感染引發(fā)的肺炎疫情席卷全球，牽動每個人的心。在這次全民緊急戰(zhàn)役中，除了口罩等疫情防護用品外，耳溫槍、額溫槍等非接觸式紅外測溫設(shè)備憑借快速、直觀、安全等特點，在疫情防控最前線發(fā)揮了重大作用。

紅外測溫設(shè)備核心是熱電堆紅外傳感器，熱電堆紅外傳感器是基于塞貝克效應(yīng)機理，采用硅基工藝，在底硅刻蝕深腔，頂硅支撐層上排布若干熱電偶，傳感器接收紅外輻射時，熱電堆上多個熱電偶電壓疊加輸出，從而將采集溫度轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷?a target="_blank">信號。測溫設(shè)備難點在于需要達到醫(yī)用計量標(biāo)準(zhǔn)，其核心傳感器具備高精度、高可靠性、高穩(wěn)定性以及高一致性等要求。

疫情緊迫，西安勵德積極成立紅外溫度傳感器項目組，加班加點討論方案，協(xié)助合作單位完善設(shè)計方案，集中攻關(guān)工藝難點。公司背腔刻蝕采用經(jīng)典Bosch工藝，刻蝕與鈍化交替進行，先后開發(fā)針對熱電堆紅外傳感器的300μm、400μm深度的背腔深硅刻蝕技術(shù)。其中背腔刻蝕尺寸精度、側(cè)壁垂直度、側(cè)壁粗糙度等均是影響傳感器最終精度的重要指標(biāo)，需要精確的工藝參數(shù)控制，如功率、氣體流量、壓力等，對刻蝕周期的調(diào)控都需要精確至毫秒級，保證芯片散熱性能。

3月以來，國外疫情日趨嚴(yán)重，西安勵德加緊擴充相關(guān)產(chǎn)品的產(chǎn)能，突破紅外測溫技術(shù)瓶頸，核心技術(shù)完全自主可控，從根本上保證了產(chǎn)品質(zhì)量和供貨周期，有力筑起紅外測溫抗疫的第一道防線。

西安勵德以”創(chuàng)造更美好的智能社會”為產(chǎn)業(yè)愿景，不斷積累經(jīng)驗，重視創(chuàng)新，構(gòu)建了相對完整的物聯(lián)網(wǎng)（IOT）生態(tài)圈，以各類傳感器為核心，形成了“設(shè)計+工藝開發(fā)+工藝驗證+批量生產(chǎn)”的系統(tǒng)解決方案，業(yè)務(wù)覆蓋民用傳感器和航空航天等軍用領(lǐng)域，以提供一流微器件制造解決方案為己任，不斷努力。