據(jù)麥姆斯咨詢報道，瑞典查爾姆斯理工大學(xué)（Chalmers University of Technology）研發(fā)的技術(shù)為超表面（metasurfaces）生產(chǎn)制造提供更加簡便的方法，從而使得超薄透鏡的量產(chǎn)接近現(xiàn)實。

近些年，光學(xué)技術(shù)取得了巨大進步：智能手機攝像頭可與數(shù)碼單反相機相媲美，這歸功于更小、更高性能的傳感器和其它電子組件，但鏡頭（透鏡）本身的變化相對較小。在過去的十年中，研究人員開始研究超表面（metasurfaces）技術(shù)，期望革新現(xiàn)有的透鏡。

超表面是指一種厚度小于波長的人工層狀材料，可以通過亞波長的微結(jié)構(gòu)來調(diào)控電磁波的偏振、相位、振幅、頻率等特性，是一種結(jié)合了光學(xué)與納米科技的新興技術(shù)。超表面可視為超材料的二維對應(yīng)。

雖然，超表面是一些熱門光學(xué)應(yīng)用（如激光雷達）的“誘人”材料，但是，迄今為止，超表面的制造仍然涉及昂貴且復(fù)雜的工藝，阻礙了其廣泛應(yīng)用。

據(jù)麥姆斯咨詢報道，瑞典查爾姆斯理工大學(xué)的研究項目現(xiàn)已開發(fā)出一種新方法來制造相位梯度（phase-gradient）超表面，旨在減少加工時間和所涉及的安全隱患。這項工作發(fā)表在ACS Photonics上。

“目前，超表面需采用要求很高的工藝制造而成，這些工藝通常涉及透明電介質(zhì)的沉積，然后再進行光刻、沉積、蝕刻等步驟?！痹擁椖垦芯咳藛T在發(fā)表的論文中寫道，“我們研發(fā)了一種經(jīng)濟有效的替代材料平臺和制造方法——易用、可擴展且基于無害化學(xué)物質(zhì)，能夠極大地加速基于超表面的光學(xué)元件的發(fā)展進程及產(chǎn)業(yè)影響?！?br />
該研究團隊的解決方案涉及在半導(dǎo)體制造工藝中使用一種標準的負性光刻膠材料，該材料可以通過電子束曝光變硬。如果使用合適的掩模來圖形化材料，則負性光刻膠自身就可以形成超表面，從而將制造工藝流程限制為基本上僅需單步光刻。

尤其是，該項目明確了：使用現(xiàn)有的負性光刻膠材料及新的制造方法，可以實現(xiàn)通往“聚合物超表面”之路。這是一類對光學(xué)應(yīng)用具有吸引力的超材料，但迄今為止尚未得到廣泛探索。

該研究團隊的新方法包括將所選的聚合物負性光刻膠材料旋涂到玻璃板上，然后通過單次電子束光刻曝光對其進行圖形化，以在表面生成高深寬比的納米鰭（nanofin）結(jié)構(gòu)，從而可以產(chǎn)生超材料的行為。

新方法通過電子束光刻技術(shù)進行負性光刻膠材料的圖形化。宏觀尺寸的超表面透鏡可以在幾個小時內(nèi)制作完成，這比任何現(xiàn)有的基于EBL的方法都快得多。

由負性光刻膠材料制成的雙折射納米鰭（nanofin）可用于超表面

大規(guī)模量產(chǎn)超表面

瑞典查爾姆斯理工大學(xué)的丹尼爾·安德烈（Daniel Andren）表示：“我們可以在塑料薄膜上制作復(fù)雜的圖形，這種塑料薄膜在顯影之后將構(gòu)成超表面?！白罱K制造出的光學(xué)元件可以像普通相機鏡頭一樣匯聚光線，但它的厚度要薄數(shù)千倍，并且也可以靈活使用?！?br />
為了檢驗新方法，該研究團隊在實驗室利用一個下午就制造出直徑為1厘米的凸透鏡，該透鏡由超過6億個獨立的納米級元件組成。然后，在直徑為400微米的物體上進行的成像試驗表明，所得的圖像清楚地顯示了目標物體的最佳細節(jié)。

該研究團隊還構(gòu)建了具有異常反射特性的光柵和圓柱形超透鏡，這表明該制造方法與柔性塑料支架和作為襯底的金屬鏡都兼容。

由負性光刻膠材料制成的透射式超透鏡，用于聚焦和成像

在柔性襯底和反射襯底上制作的超表面

該方法可能對創(chuàng)建平面消色差光學(xué)元件特別有價值。根據(jù)該研究團隊的說法，聚合物的折射率色散通常較低，這可能使其成為此類光學(xué)元件的合適材料。去年，哈佛超材料實驗室的先驅(qū)——費德里科·卡帕索（Federico Capasso）創(chuàng)造了一種由非對稱納米鰭（nanofins）組成的消色差超透鏡，能夠?qū)⒐饩劢乖诳梢姽庾V范圍內(nèi)而不會出現(xiàn)像差，這再次證明了這種消色差超材料的潛力。

“我們的新方法可能是邁向大規(guī)模量產(chǎn)超表面的重要一步?！比鸬洳闋柲匪估砉ご髮W(xué)物理系Ruggero Verre評論道，“這就是我們努力實現(xiàn)的目標。超表面可以創(chuàng)造不同的光學(xué)應(yīng)用效果，并提供各種技術(shù)實現(xiàn)的可能性。最好的還在后面，敬請關(guān)注?！?br />