P73系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可選200μm、500μm及1mm。P73．Z200是P73系列中200微米行程的版本，它采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無(wú)摩擦、運(yùn)動(dòng)直線性好，且閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號(hào)的顯微鏡，廣泛應(yīng)用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。

特點(diǎn)

行程200μm

承載能力0．2kg

毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

聚焦穩(wěn)定性好

典型應(yīng)用

三維成像

干涉／計(jì)量

生物科技

表面結(jié)構(gòu)分析

共焦顯微

半導(dǎo)體測(cè)試

開(kāi)／閉環(huán)控制電壓與位移曲線

注：施加至壓電物鏡定位器的電壓約為控制輸入電壓的12倍。

螺紋適配器便于安裝

P73．Z200系列壓電物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接，將物鏡快速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0．75、M26×0．75、M26×1／36＂、M25×0．75、W0．8×1／36＂ 等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)相結(jié)合使用。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P73．Z200S

運(yùn)動(dòng)自由度：Z

標(biāo)稱(chēng)行程范圍：160μm＠120V

行程范圍：200μm＠150V

傳感器類(lèi)型：SGS

閉／開(kāi)環(huán)分辨率：11／5nm

閉環(huán)線性度：0．1％F．S．

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0．05％F．S．

推／拉力：80／10N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0．25N／μm

空載諧振頻率：210 Hz

閉／開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：20／10ms

閉環(huán)空載工作頻率：40Hz＠10％行程

閉環(huán)空載工作頻率：10Hz＠100％行程

承載能力：0．2 kg

靜電容量：7．2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：360g

注：以上參數(shù)是采用E00／E01系列壓電控制器測(cè)得。最大驅(qū)動(dòng)電壓可在－20V～150V；對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在0～120V。

責(zé)任編輯：PSY