蝕刻機(jī)的基礎(chǔ)原理
一、蝕刻的目的
蝕刻的目的即是將前工序所做出有圖形的線(xiàn)路板上的未受保護(hù)的非導(dǎo)體部分銅蝕刻去,形成線(xiàn)路。
蝕刻有內(nèi)層蝕刻和外層蝕刻,內(nèi)層采用酸性蝕刻,濕膜或干膜為抗蝕劑;外層采用堿性蝕刻,錫鉛為抗蝕劑。
二、蝕刻反應(yīng)基本原理
1.酸性氯化銅蝕刻液
①.特性
-蝕刻速度容易控制,蝕刻液在穩(wěn)定狀態(tài)下能達(dá)到高的蝕刻質(zhì)量
-蝕銅量大
-蝕刻液易再生和回收
②.主要反應(yīng)原理
蝕刻過(guò)程中,Cu2+有氧化性,將板面銅氧化成Cu+:Cu+CuCl2→2CuCl
生成的CuCl不溶于水,在過(guò)量的氯離子存在下,生成可溶性的絡(luò)離子:
2CuCl+4Cl-→2[CuCl3]2-
隨著反應(yīng)的進(jìn)行,Cu+越來(lái)越多,蝕銅能力下降,需對(duì)蝕刻液再生,使Cu+變成Cu2+。再生的方法有以下幾種:通氧氣或壓縮空氣再生(反應(yīng)速率低),氯氣再生(反應(yīng)快,但有毒),電解再生(可直接回收銅,但需電解再生的設(shè)備和較高的電能消耗),次氯酸鈉再生(成本高,本身較危險(xiǎn)),雙氧水再生(反應(yīng)速率快,易控制).
反應(yīng):2CuCl+2HCl+H2O2→2CuCl2+2H2O
自動(dòng)控制添加系統(tǒng):通過(guò)控制蝕刻速度,雙氧水和鹽酸的添加比例,比重和液位,溫度等項(xiàng)目,達(dá)到自動(dòng)連續(xù)生產(chǎn)。
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