有“臺(tái)灣 DRAM 教父”之稱，同時(shí)也是前紫光全球執(zhí)行副總裁高啟全成立的晶芯半導(dǎo)體黃石公司是湖北首家晶圓再生工廠。 4 月 29 日在黃石開(kāi)發(fā)區(qū)舉行投片儀式，高啟全親自出席該儀式。

高啟全對(duì)《問(wèn)芯Voice》表示，晶芯半導(dǎo)體一期規(guī)劃的月產(chǎn)能 10 萬(wàn)片已于 2020 年 7 月開(kāi)工建設(shè)，2021 年 4 月底部分試產(chǎn)，2021 年 6 月全面投產(chǎn)，并預(yù)計(jì)于 2022 年上半年達(dá)產(chǎn)。

晶芯半導(dǎo)體項(xiàng)目是由高啟全與臺(tái)灣半導(dǎo)體設(shè)備與再生晶圓供應(yīng)商廠辛耘企業(yè)所創(chuàng)立，總投資 23.13 億元，用地面積 72 畝，分四期建設(shè)。該項(xiàng)目全部建成達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)可達(dá)月產(chǎn)能 40 萬(wàn)片，年?duì)I業(yè)收入可達(dá) 10.08 億元，年稅收 1.43 億元。

高啟全表示，中國(guó)大陸的 12 寸晶圓廠投資需要有完善的供應(yīng)鏈來(lái)保障工廠運(yùn)營(yíng)穩(wěn)定及成本競(jìng)爭(zhēng)力，這也是 2020 年 9 月他離開(kāi)紫光集團(tuán)，轉(zhuǎn)戰(zhàn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈領(lǐng)域的主要原因之一。他除了在黃石創(chuàng)立第一家芯片原物料公司，也在其他省份地區(qū)投資晶圓廠所需要的關(guān)鍵原物料。

大陸的半導(dǎo)體晶圓廠一座座蓋起，對(duì)晶圓再生需求非常強(qiáng)勁，短板是沒(méi)有本地供應(yīng)的晶圓再生廠，都要從海外運(yùn)到大陸，成本無(wú)形中墊高。

再生晶圓每片單價(jià)約 20 ～ 30 美元，回收可再利用 4 ~ 7 次，如果把再生晶圓從臺(tái)灣運(yùn)到大陸使用，運(yùn)費(fèi)等因素會(huì)導(dǎo)致每片晶圓的成本多出 4 美元。長(zhǎng)期來(lái)看，工廠要設(shè)立在大陸供應(yīng)本地晶圓廠才會(huì)有競(jìng)爭(zhēng)力。

對(duì)高啟全而言，離開(kāi)紫光后加入大陸半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的打造，既不與紫光集團(tuán)相競(jìng)爭(zhēng)，又能協(xié)助現(xiàn)在眾多的本地晶圓廠強(qiáng)化生產(chǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。

晶芯半導(dǎo)體黃石公司初期是生產(chǎn)晶圓再生，全期共有四條生產(chǎn)線，總產(chǎn)能每月 40 萬(wàn)片，配合國(guó)內(nèi) 12 寸廠的產(chǎn)能需求同步投資擴(kuò)充。目前一期 10 萬(wàn)片的廠房建設(shè)和機(jī)臺(tái)安裝經(jīng)歷了 9 個(gè)月時(shí)間順利完成。

高啟全也強(qiáng)調(diào)，該廠房采用的生產(chǎn)設(shè)備是最先進(jìn)的機(jī)型，廠務(wù)系統(tǒng)和潔凈車間的設(shè)計(jì)能保障穩(wěn)定、安全、無(wú)污染生產(chǎn)，在今年底會(huì)導(dǎo)入自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)。

硅片在晶圓廠中的應(yīng)用可以分為兩大類：正片是被直接用在半導(dǎo)體加工，包括拋光片、外延片等；另一種是用于監(jiān)控測(cè)試的硅片，包括控片（monitor wafers）、檔片/測(cè)試片（dummy wafers）、測(cè)試晶圓（Test Wafer）。

所謂再生晶圓（reclaim wafer），并非指IC 不良品的再利用，而是將芯片制造中使用過(guò)的控片（Monitor wafer）及檔片/測(cè)試片（Dummy wafer）提供回收再利用服務(wù)，主要通過(guò)刻蝕、輪磨、化學(xué)機(jī)械拋光及清洗等工藝，將晶圓表面恢復(fù)到初始狀態(tài)，再投入生產(chǎn)線使用，主要客戶為全球晶圓制造及晶圓代工廠商。

控片主要用來(lái)監(jiān)控機(jī)臺(tái)的制程能力是否穩(wěn)定、生產(chǎn)環(huán)境是否潔凈。通過(guò)使用控片，可以對(duì)離子注入、薄膜沉積、光刻、刻蝕和研磨等工藝中的電阻率、薄膜沉積速率、刻蝕速率、研磨速率、均勻性等進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

擋片的作用主要是維持機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定，使用對(duì)象包括爐管、暖機(jī)擋片、傳送擋片等。在爐管中，擋片被用來(lái)隔絕工藝條件較差的部分，以及填充產(chǎn)品不足時(shí)空出的位置，對(duì)爐管內(nèi)的氣流進(jìn)行阻擋分層，并讓溫度均勻分布。

控片和擋片的來(lái)源可以是全新晶圓或是是再生晶圓。全新晶圓是由晶棒兩側(cè)品質(zhì)較差處所切割出來(lái)的部分。再生晶圓是指回收重復(fù)利用的擋控片。由于擋控片的消耗量大，若都使用全新的擋控片，會(huì)導(dǎo)致成本過(guò)高，因此就有了晶圓再生的生意出現(xiàn)。

根據(jù) 2018 年 SEMI 報(bào)告顯示，再生矽晶圓市場(chǎng) 2017 年達(dá) 5.1 億美元，2018 年上揚(yáng) 19% 并達(dá)到 6.03 億美元的規(guī)模，主要是日本供應(yīng)商稱霸市場(chǎng)，在 8 寸和 12 寸再生晶圓產(chǎn)能方面占比最高。

目前全球前四大再生晶圓供應(yīng)商龍頭為日本 RS Technologies，其他四家為臺(tái)灣供應(yīng)商：升陽(yáng)、中砂與辛耘。

與高啟全一起攜手創(chuàng)立晶芯半導(dǎo)體的辛耘企業(yè)，主要從事三大業(yè)務(wù)：代理設(shè)備、自制設(shè)備與再生晶圓，占比最大的是代理設(shè)備約占 58%。

大陸幾乎所有 12 吋晶圓廠都是辛耘的客戶，因此辛耘對(duì)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)市況非常熟悉，認(rèn)為要在大陸本地設(shè)廠，就近服務(wù)當(dāng)?shù)乜蛻簦拍芊闲屎统杀尽?/p>

目前辛耘在臺(tái)灣的再生晶圓業(yè)務(wù)月產(chǎn)能約為 12 萬(wàn)片，預(yù)計(jì)在臺(tái)廠房今、明兩年要再擴(kuò) 4 萬(wàn)片，上看 16 萬(wàn)片。

原文標(biāo)題：“臺(tái)灣DRAM教父”高啟全出席黃石晶芯投產(chǎn)儀式，再生晶圓項(xiàng)目6月全面啟動(dòng)

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