我們最近為CM300xi探針臺推出了一些革命性的新型硅光子（SiPh）探針解決方案。這些新功能之一是專有的OptoVue Pro?，可在不移除當(dāng)前被測試晶圓的情況下就地進(jìn)行光學(xué)定位器校準(zhǔn)。

OptoVue Pro位于CM300xi的輔助卡盤位置，包括功能豐富的工具集，可提供更快的時間來獲得更準(zhǔn)確的測量結(jié)果。它提供了先進(jìn)的技術(shù)，可在不移除當(dāng)前被測試晶圓的情況下就地進(jìn)行光學(xué)定位器校準(zhǔn)。這些無縫的自動校準(zhǔn)可以在無需操作員干預(yù)的情況下執(zhí)行，從而縮短了測量時間并降低了測試成本。此外，開創(chuàng)性的新設(shè)計提供了更多的光纖/陣列觀察方向，從而帶來了更精確的校準(zhǔn)結(jié)果。

OptoVue Pro的其他獨有功能是真正的水平邊緣耦合和單個光子設(shè)備的探測，光纖和光纖陣列的檢查和測量以及探頭尖端的原位功率測量。

將這些功能進(jìn)一步細(xì)分…

CalVue– CalVue支持Z位移和光學(xué)定位的原位校準(zhǔn)。利用獨特設(shè)計的后視鏡技術(shù)，eVue的物鏡照明可用于查看光纖/陣列的所有方面，而無需外部光。這消除了對傾斜照明的需求，并實現(xiàn)了實時的實時自動機(jī)器視覺校準(zhǔn)。

PowerVue

使用高靈敏度光電二極管，PowerVue能夠在光纖/陣列尖端進(jìn)行原位功率測量，以了解進(jìn)入設(shè)備的實際功率。它還可以用于測量和去除激光到光纖的路徑損耗。

ProbeVue

使用一種新穎的設(shè)計技術(shù)，ProbeVue允許對單根光纖和光纖陣列以及DC和RF探頭進(jìn)行向上檢查的探頭檢查功能。如果測量性能下降，則可以在原位查找探頭的磨損或損壞。對于光纖陣列探測，通過能夠找到從陣列角到V形槽中第一根光纖的初始陣列耦合偏移位置的功能，這非常有價值。

迪威

測試單個芯片并將測試轉(zhuǎn)移到晶圓級的能力最終改變了新項目的批量生產(chǎn)時間。 DieVue是一個單獨的裸片固定位置，可使用標(biāo)準(zhǔn)套件或定制裸片固定器將多達(dá)25x25mm的裸片真空固定，以用于表面和邊緣耦合應(yīng)用。 DieVue是業(yè)內(nèi)唯一能夠?qū)崿F(xiàn)真正的芯片級水平邊緣耦合探測和優(yōu)化的解決方案。

審核編輯：湯梓紅