DASP (Defect and Dopant ab-initio Simulation Package)是一款半導(dǎo)體缺陷和雜質(zhì)的第一性原理計(jì)算模擬軟件。該軟件包能針對(duì)輸入的半導(dǎo)體晶體結(jié)構(gòu)，基于材料基因組數(shù)據(jù)庫(kù)和第一性原理軟件包，自動(dòng)計(jì)算并輸出半導(dǎo)體的熱力學(xué)穩(wěn)定性，缺陷和雜質(zhì)形成能及離化能級(jí)，半導(dǎo)體樣品中缺陷、雜質(zhì)和載流子濃度及費(fèi)米能級(jí)，關(guān)鍵缺陷和雜質(zhì)誘導(dǎo)的光致發(fā)光譜、載流子輻射躍遷過(guò)程。

此前DASP版本的載流子動(dòng)力學(xué)(CDC)模塊已實(shí)現(xiàn)缺陷誘導(dǎo)的光致發(fā)光譜形狀和缺陷對(duì)載流子的輻射俘獲系數(shù)的計(jì)算。本次更新增加了缺陷對(duì)載流子的非輻射俘獲系數(shù)的計(jì)算功能。該功能通過(guò)計(jì)算半導(dǎo)體的帶邊態(tài)和缺陷態(tài)之間的電聲耦合，給出缺陷對(duì)載流子的非輻射俘獲系數(shù)（截面）。計(jì)算結(jié)果可以與深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）測(cè)量的俘獲截面對(duì)比，也可作為半導(dǎo)體器件TCAD仿真中缺陷的載流子俘獲截面的輸入?yún)?shù)。

DASP 2022B版本的CDC模塊介紹

基于計(jì)算的非輻射俘獲系數(shù)（截面），該模塊還可以根據(jù)Shockley-Read-Hall公式計(jì)算半導(dǎo)體中非平衡載流子由缺陷誘導(dǎo)的非輻射復(fù)合壽命。同時(shí)，CDC模塊在計(jì)算缺陷誘導(dǎo)的光致發(fā)光譜時(shí)，還可以計(jì)算缺陷通過(guò)輻射過(guò)程俘獲電子和空穴載流子的俘獲系數(shù)，基于此，可以進(jìn)一步計(jì)算缺陷通過(guò)輻射過(guò)程對(duì)非平衡載流子壽命的影響。綜合多種載流子復(fù)合機(jī)制，可以分析載流子壽命的主要影響機(jī)制，并與實(shí)驗(yàn)測(cè)量的壽命比較。

該功能的計(jì)算可以采用普通的局域密度近似或廣義梯度近似泛函、或者雜化泛函進(jìn)行。

目前DASP的功能簡(jiǎn)介

本次更新后，DASP四個(gè)模塊的功能已經(jīng)完備，具體簡(jiǎn)介如下：

熱力學(xué)穩(wěn)定性計(jì)算模塊TSC

通過(guò)Pymatgen訪問(wèn)Materials Project數(shù)據(jù)庫(kù)，快速判斷目標(biāo)化合物的穩(wěn)定性，確定化合物半導(dǎo)體的關(guān)鍵競(jìng)爭(zhēng)相，并自動(dòng)計(jì)算各元素化學(xué)勢(shì)的取值范圍。

缺陷能量計(jì)算模塊DEC

構(gòu)建近似立方的超原胞，基于對(duì)稱性產(chǎn)生各類缺陷和雜質(zhì)的構(gòu)型，調(diào)用第一性原理軟件開(kāi)展結(jié)構(gòu)優(yōu)化、電子結(jié)構(gòu)和能量計(jì)算。根據(jù)第一性原理計(jì)算結(jié)果和TSC模塊的結(jié)果自動(dòng)計(jì)算缺陷的形成能和離化能級(jí)，并自動(dòng)計(jì)算各項(xiàng)誤差修正。

缺陷濃度計(jì)算模塊DDC

讀入TSC和DEC模塊計(jì)算結(jié)果，預(yù)測(cè)不同化學(xué)勢(shì)和溫度條件下制備的半導(dǎo)體樣品中各類缺陷和雜質(zhì)的濃度、費(fèi)米能級(jí)位置和載流子濃度，給出其隨元素化學(xué)、制備溫度和工作溫度的變化。

載流子動(dòng)力學(xué)計(jì)算模塊CDC

根據(jù)DDC模塊計(jì)算結(jié)果，確定關(guān)鍵的缺陷和雜質(zhì)，及其對(duì)應(yīng)的載流子激發(fā)態(tài)動(dòng)力學(xué)過(guò)程，開(kāi)展光學(xué)性質(zhì)和電聲耦合性質(zhì)計(jì)算，據(jù)此進(jìn)一步計(jì)算光致發(fā)光譜、載流子的輻射和非輻射俘獲截面、速率等參數(shù)，結(jié)合缺陷和雜質(zhì)濃度信息計(jì)算非平衡載流子壽命。

圖1：DASP各模塊功能介紹

載流子非輻射俘獲系數(shù)計(jì)算的實(shí)例

該計(jì)算使用靜態(tài)耦合公式，并結(jié)合一維位形圖（configuration coordinate diagram）的方法，模擬載流子從帶邊態(tài)到缺陷態(tài)之間的非輻射躍遷過(guò)程。具體計(jì)算的物理量包括：電聲耦合矩陣元、振動(dòng)波函數(shù)重疊積分、缺陷對(duì)電子和空穴的非輻射俘獲系數(shù)（截面）。圖2和圖3中計(jì)算結(jié)果是對(duì)128個(gè)原子的GaN超胞中CN的替位雜質(zhì)進(jìn)行非輻射俘獲系數(shù)的計(jì)算得到的。

根據(jù)DEC模塊的計(jì)算，該雜質(zhì)的(?/0)轉(zhuǎn)變能級(jí)位于VBM以上1.07 eV，由于距離CBM較遠(yuǎn)，電子從CBM到缺陷態(tài)的躍遷過(guò)程應(yīng)該是輻射的；由于距離VBM較近，空穴從VBM到缺陷態(tài)的過(guò)程應(yīng)該是非輻射的。因此，本實(shí)例中，使用CDC模塊計(jì)算該缺陷對(duì)空穴載流子的非輻射俘獲系數(shù)（類似地，我們可以使用CDC模塊對(duì)其他缺陷和雜質(zhì)對(duì)電子或空穴載流子的非輻射俘獲系數(shù)的計(jì)算）。當(dāng)計(jì)算開(kāi)始后，CDC模塊將讀取DEC模塊的計(jì)算輸出（缺陷結(jié)構(gòu)、帶電狀態(tài)、本征值、轉(zhuǎn)變能級(jí)等）進(jìn)行一維位形圖（圖2）和電聲耦合的計(jì)算，最終在考慮索末菲因子的貢獻(xiàn)后，可輸出俘獲系數(shù)隨溫度的變化，見(jiàn)圖3。

圖2：采用CDC模塊計(jì)算的GaN中CN雜質(zhì)態(tài)俘獲空穴載流子的振動(dòng)勢(shì)能面曲線

圖3：采用CDC模塊計(jì)算的GaN中CN雜質(zhì)態(tài)對(duì)空穴載流子的俘獲系數(shù)隨溫度的變化

以上的計(jì)算采用簡(jiǎn)諧近似的方法，即默認(rèn)（圖2）勢(shì)能面曲線為拋物線類型。在某些體系中，缺陷的振動(dòng)勢(shì)能面曲線不滿足簡(jiǎn)諧近似，無(wú)法用拋物線擬合。對(duì)這種非簡(jiǎn)諧的情況，該模塊也可以準(zhǔn)確考慮，通過(guò)更改輸入文件中的擬合方法，采用樣條曲線的方法擬合非簡(jiǎn)諧的勢(shì)能面曲線，進(jìn)而描述非簡(jiǎn)諧效應(yīng)對(duì)非輻射復(fù)合系數(shù)的影響。詳細(xì)參數(shù)設(shè)置方法可參見(jiàn)手冊(cè)中的應(yīng)用案例。