衍射光柵是一種高分辨率的光學(xué)色散元件。隨著衍射光柵制造技術(shù)的不斷發(fā)展，各類型的光柵相繼而出，光柵的用途也日益廣泛，如今衍射光柵不僅可用于光譜學(xué)，還能廣泛用于慣性約束聚變、激光加工、天文、計量、光通訊、AR顯示等眾多領(lǐng)域。

05光柵在超快激光器中應(yīng)用

超快激光加工是一種新興的材料加工技術(shù)。由于其加工精度高、沒有熱效應(yīng)等優(yōu)點，該技術(shù)已經(jīng)在精密加工、生物醫(yī)療等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

啁啾脈沖放大（CPA）技術(shù)的基本原理是在時域上對未放大的超短脈沖進行展寬，從而有效地避免了在放大的過程中極高的峰值功率損傷增益介質(zhì)，以及一系列的非線性效應(yīng)引起脈沖波形的畸變。最后利用壓縮器將功率放大后的展寬脈沖在時域上重新壓縮回超短脈沖。

CPA技術(shù)在保持脈沖質(zhì)量的同時將峰值功率提升了近10個數(shù)量級，達到TW級別，從而使超快激光被應(yīng)用在加工領(lǐng)域成為可能。脈沖的展寬和壓縮大多數(shù)都是由衍射光柵來完成的。

06光柵在精密位移計量中應(yīng)用

***是生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的核心設(shè)備，在半導(dǎo)體芯片制造過程中***的掩模臺、工件臺的定位精度直接影響半導(dǎo)體芯片加工的線寬。因此，在***中需設(shè)置高精度的位移測量系統(tǒng)以保證掩模臺、工件臺的運動精度和定位精度。

目前高精度位移測量方法包括激光干涉儀和光柵尺位移測量系統(tǒng)。光柵尺位移測量系統(tǒng)是以光柵的周期作為基準，也可以獲得與激光干涉儀相類似的測量分辨率。

和激光干涉儀相比，光柵尺的讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)緊湊，受空氣擾動影響小，環(huán)境溫度變化帶來的誤差也可通過使用極低熱膨脹系數(shù)材料等技術(shù)手段縮減到最小。因此在一般工況條件下能夠具有較好的測量精度和穩(wěn)定性，有助于開發(fā)超高精度微位移監(jiān)測裝置。

審核編輯：湯梓紅