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6.3.6 不同晶面上的氧化硅/SiC 界面特性∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-21 09:35 ? 次閱讀
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6.3.6 不同晶面上的氧化硅/SiC 界面特性

6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

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