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激光干涉儀可以完成哪些測(cè)量?

中圖儀器 ? 2022-08-03 16:37 ? 次閱讀
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SJ6000激光干涉儀環(huán)境適應(yīng)能力好,具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。除了可完成線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量外,在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,還可完成線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

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測(cè)量功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
2.可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量;
4.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
6.具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
7.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測(cè)量應(yīng)用

pYYBAGKm18qADSlVAAG_Rbds9qE204.jpg線性測(cè)量poYBAGKm18qAcZqjAAIxfP-yrwY909.jpg斜床的傾斜軸測(cè)量pYYBAGLqKz-AGVG7AARBoFO8--U189.png測(cè)量機(jī)床直線度pYYBAGLqKVyAI3rlAAS80TwWPq0691.png測(cè)量機(jī)床偏擺角度pYYBAGLqK3eAR4baAAO5r-IRm_M564.png垂直度測(cè)量poYBAGLqK4eARdqeAAJ8mOnfz2A384.png直線度測(cè)量

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