Atonarp 質(zhì)譜儀通過數(shù)字分子分析推進半導體過程控制
先進半導體應用的原位過程控制
上海伯東日本 Atonarp Aston? Impact 和 Aston? Plasma 是超緊湊型質(zhì)譜儀, 適用于先進半導體工藝（如沉積和蝕刻）所需的定量氣體分析.
 分子測量 快速，靈敏度達到十億分之一 檢測殘留氣體 / 冷凝物污染. |
 提高產(chǎn)量 提供化學特定的可操作見解, 盡可能地提高產(chǎn)量 |
 提高安全性 監(jiān)測爆炸性氣體. 檢查排放和減排效果. |
Aston? 質(zhì)譜儀解決了關鍵的原位計量問題
? 提高吞吐量:端點檢測而不是基于時間的流程
? 提高產(chǎn)量: 以十億分之一的靈敏度測量沉積和蝕刻工藝期間的工藝氣體 / 副產(chǎn)物
Aston? 質(zhì)譜儀先進工藝的優(yōu)勢
ppb 級靈敏度的高速采樣
非常適合高縱橫比的 3D 結(jié)構(gòu)
耐腐蝕性氣體
堅固緊湊
易于集成到工具平臺中
沉積應用中: 實時過程氣體監(jiān)控，以驅(qū)動自動化工具調(diào)整以實現(xiàn)過程控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現(xiàn)層的化學計量工程
蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產(chǎn)品, 啟用端點腔室清潔
Atonarp Aston? 技術(shù)參數(shù)
| 類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
| 型號 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
| 質(zhì)量分離 | 四級桿 | |||||
| 真空系統(tǒng) | 分子泵 |
分子泵 隔膜泵 |
分子泵 |
分子泵 隔膜泵 |
分子泵 |
分子泵 隔膜泵 |
| 檢測器 | FC /SEM | |||||
| 質(zhì)量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
| 分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
| 檢測限 | 0.1 PPM | |||||
| 工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
| 功率 | 350 W | |||||
| 重量 | 15 kg | |||||
| 尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
Aston? 質(zhì)譜儀半導體制造應用
|
先進的工藝 原子層沉積 (ALD) 化學氣相沉積 (CVD) 原子層蝕刻 (ALE) 腔室管理 干凈的終點檢測 指紋識別和匹配 Sub-fab安全性, 可持續(xù)性和節(jié)省優(yōu)化 過程安全監(jiān)控 干泵保護 減排管理 |
|
沉積 化學氣相沉積 鎢 TEOS 蝕刻 介電,導電,金屬 高縱橫比 <1% 開放區(qū)域檢測 EUV/光刻 SnH4 蝕刻 光掩模蝕刻 自主過程控制 模型驅(qū)動的實時過程監(jiān)控 |
審核編輯黃宇
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
半導體
+關注
關注
338文章
30619瀏覽量
263511 -
質(zhì)譜儀
+關注
關注
0文章
53瀏覽量
11334
發(fā)布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
半導體“基礎FMEA和家族?FMEA”分析的詳解；
【博主簡介】本人“ 愛在七夕時 ”，系一名半導體行業(yè)質(zhì)量管理從業(yè)者，旨在業(yè)余時間不定期的分享半導體行業(yè)中的：產(chǎn)品質(zhì)量、失效分析、可靠性分析和產(chǎn)品基礎應用等相關知識。常言：真知不問出處，
芯源半導體在物聯(lián)網(wǎng)設備中具體防護方案
）設備身份認證與訪問控制方案?
為防止非法設備接入物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)，芯源半導體提供了設備身份認證與訪問控制方案：?
設備身份唯一標識：每一顆芯源半導體安全芯片都具有唯一的身份標識（UID），
發(fā)表于 11-18 08:06
芯源半導體安全芯片技術(shù)原理
物理攻擊，如通過拆解設備獲取存儲的敏感信息、篡改硬件電路等。一些部署在戶外的物聯(lián)網(wǎng)設備，如智能電表、交通信號燈等，更容易成為物理攻擊的目標。
芯源半導體的安全芯片采用了多種先進的安全技術(shù)，從硬件層面為物
發(fā)表于 11-13 07:29
是德科技Keysight B1500A 半導體器件參數(shù)分析儀/半導體表征系統(tǒng)主機
一臺半導體參數(shù)分析儀抵得上多種測量儀器Keysight B1500A 半導體參數(shù)分析儀是一款一體化器件表征分析儀，能夠測量 IV、CV、脈沖
發(fā)表于 10-29 14:28
普迪飛Exensio數(shù)據(jù)分析平臺-過程控制功能介紹 #半導體測試分析 #良率提升 #半導體制造
半導體
PDF Solutions
發(fā)布于 :2025年08月28日 13:57:26
阿美特克程控電源在半導體行業(yè)中的應用
半導體行業(yè)中的程控電源全球半導體行業(yè)蓬勃發(fā)展，半導體生產(chǎn)商持續(xù)加大科研力度，擴建或優(yōu)化產(chǎn)線以提高產(chǎn)能和效率。半導體研發(fā)和制造
如何通過數(shù)據(jù)分析識別設備故障模式？
通過數(shù)據(jù)分析識別設備故障模式，本質(zhì)是從聲振溫等多維數(shù)據(jù)中提取故障特征，建立 “數(shù)據(jù)特征 - 故障類型” 的映射關系，核心可通過特征提取、模式匹配、趨勢分析三步實現(xiàn)，精準定位故障根源與發(fā)展階段。
熱重分析儀在半導體行業(yè)的應用
電子科技的快速發(fā)展離不開半導體，半導體作為現(xiàn)代科技的核心驅(qū)動力之一，其對于電子設備性能、功能拓展方面都起到關鍵的作用。熱重分析儀作為一款材料熱分析工具，能夠在
功率半導體器件——理論及應用
本書較全面地講述了現(xiàn)有各類重要功率半導體器件的結(jié)構(gòu)、基本原理、設計原則和應用特性，有機地將功率器件的設計、器件中的物理過程和器件的應用特性聯(lián)系起來。
書中內(nèi)容由淺入深，從半導體的性質(zhì)、基本的
發(fā)表于 07-11 14:49
大模型在半導體行業(yè)的應用可行性分析
有沒有這樣的半導體專用大模型，能縮短芯片設計時間，提高成功率，還能幫助新工程師更快上手?；蛘哕浻布梢栽谠O計和制造環(huán)節(jié)確實有實際應用。會不會存在AI缺陷檢測。
能否應用在工藝優(yōu)化和預測性維護中
發(fā)表于 06-24 15:10
蘇州芯矽科技：半導體清洗機的堅實力量
控化學試劑使用，護芯片周全。
工藝控制上，先進的自動化系統(tǒng)盡顯精準。溫度、壓力、流量、時間等參數(shù)皆能精確調(diào)節(jié)，讓清洗過程穩(wěn)定如一，保障清洗效果的一致性和可靠性，極大降低芯片損傷風險，為半導體企業(yè)良品率
發(fā)表于 06-05 15:31
電子束半導體圓筒聚焦電極
電子束半導體圓筒聚焦電極
在傳統(tǒng)電子束聚焦中，需要通過調(diào)焦來確保電子束焦點在目標物體上。要確認是焦點的最小直徑位置非常困難，且難以測量。如果焦點是一條直線，就可以免去調(diào)焦過程，本文將介紹一種能把
發(fā)表于 05-10 22:32
如何選擇適合您的過程控制器？
在現(xiàn)代工業(yè)中，過程控制器是確保生產(chǎn)效率、質(zhì)量和安全性的關鍵設備。它們可以精準監(jiān)測溫度、濕度等變量，優(yōu)化制造流程。但您是否清楚如何選擇合適的過程控制器？
意法半導體基金會：通過數(shù)字統(tǒng)一計劃彌合數(shù)字鴻溝
在意法半導體，我們致力于以正向影響力促進專業(yè)技能的發(fā)展，并透過ST基金會在全球推行多元教育計劃。我們的使命是發(fā)展、協(xié)調(diào)并贊助以現(xiàn)代科學與技術(shù)推動人類進步的項目。 其中一項指標性計劃為“數(shù)字統(tǒng)一計劃
工商網(wǎng)監(jiān)
評論