白光干涉儀利用白光干涉原理，通過(guò)測(cè)量光的相位變化來(lái)獲取物體表面的形貌信息。在工業(yè)制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域，被廣泛用于測(cè)量精密器件的形貌、表面缺陷檢測(cè)等方面。

白光干涉儀通過(guò)對(duì)干涉條紋進(jìn)行圖像處理，可以獲得二維形貌圖，顯示出被測(cè)物體表面的高低起伏。其測(cè)量精度主要受到光柵常數(shù)、光斑大小、光源穩(wěn)定性等因素的影響。一般光柵常數(shù)越大，測(cè)量精度越高，但對(duì)儀器的要求也更高；光斑大小越小，測(cè)量精度越高，但對(duì)物體表面的要求也更高；光源的穩(wěn)定性對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響也不能忽視。

工作原理

基于干涉現(xiàn)象，當(dāng)白光通過(guò)一個(gè)光柵或衍射光柵后，會(huì)被分成不同顏色的光束，形成一系列相位不同的光波。這些光波經(jīng)過(guò)反射或透射后再次匯聚在一起。當(dāng)兩束光波的相位差為整數(shù)倍的波長(zhǎng)時(shí)，它們會(huì)發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。通過(guò)測(cè)量這些干涉條紋的信息，就可以推導(dǎo)出被測(cè)物體表面的形貌。

測(cè)量操作步驟

在使用白光干涉儀測(cè)量二維形貌之前，需要進(jìn)行一些準(zhǔn)備工作。
1、確保干涉儀的光源穩(wěn)定，光路清晰，并校準(zhǔn)儀器。校準(zhǔn)包括調(diào)整儀器的工作距離、傾斜角度等參數(shù)，以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
2、需要選擇適當(dāng)?shù)臏y(cè)量參數(shù)，包括光柵常數(shù)、光斑大小等，以滿足具體測(cè)量需求。
3、在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，需要將被測(cè)物體放置在白光干涉儀的測(cè)量臺(tái)上，并保持穩(wěn)定。通過(guò)調(diào)整儀器的焦距和位置等參數(shù)，使物體表面的光斑清晰可見(jiàn)。
4、啟動(dòng)儀器的測(cè)量程序，記錄下干涉條紋的圖像或數(shù)據(jù)。

SuperViewW1白光干涉儀測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

測(cè)量案例