9月開始，有3項新的MEMS傳感器標準開始實施，整個2023年預計有7項MEMS技術新國家標準陸續(xù)實施。 隨著近年來中國半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，MEMS傳感器等技術標準的制定也在加快進行，MEMS標準從混亂走向秩序，領先者們正在建立領先優(yōu)勢和行業(yè)準入壁壘！ 對于商業(yè)競爭，我們經(jīng)常聽到的一句話就是：一流企業(yè)做標準，二流企業(yè)做品牌，三流企業(yè)做產(chǎn)品。只有掌握了標準的制定權(quán)，才是一流企業(yè)。 下文，我們來看看9月實施的MEMS技術新國家標準有哪些？我國有哪些MEMS/傳感器標準團體？以及我國目前的MEMS&傳感器標準建設情況。9月，這些MEMS技術新國家標準實施！今年有7項新MEMS技術標準落地！還有10項MEMS新國家標準正在起草！ 據(jù)全國標準信息公共服務平臺網(wǎng)站顯示，全國微機電技術標準化技術委員會SAC/TC336（簡稱“微機電標委會”）——MEMS技術國家標準主要歸口單位，發(fā)布多項MEMS技術國家標準制定情況。 目前，我國MEMS技術國家標準正在實行/即將實施的有31項，10項標準已上升為IEC國際標準。其中3項標準自9月1日開始正式實施，分別是：GB/T 42191-2023MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法GB/T 42597-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 陀螺儀GB/T 26111-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 術語

▲來源：全國標準信息公共服務平臺 《GB/T 26111-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 術語》標準主要界定了微機電系統(tǒng)器件及其生產(chǎn)工藝相關的術語和定義，適用于微機電系統(tǒng)領域的研究、開發(fā)、評測和應用。 該標準文件，全部替代實施于2011年1月的舊標準GB/T 26111-2010。

▲來源：全國標準信息公共服務平臺 此外，《GB/T 42191-2023 MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》和《GB/T 42597-2023 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 陀螺儀》均為新設立的標準。 《GB/T 42191-2023 MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》文件描述了 MEMS 壓阻式壓力敏感器件試驗條件和試驗方法，適用于 MEMS 壓阻式壓力敏感器件。 《GB/T 42597-2023 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 陀螺儀》文件規(guī)定了陀螺儀的術語和定義、額定值、性能參數(shù)及測量方法。陀螺儀主要用于消費電子、工業(yè)和航空航天等。陀螺儀廣泛采用MEMS和半導體激光器技術。 另有3項MEMS標準已通過審核將在今年12月實施，分別是：GB/T 42895-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強度試驗方法GB/T 42896-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 硅基MEMS納尺度結(jié)構(gòu)沖擊試驗方法GB/T 42897-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法 值得一提的是，還有10項MEMS新標準正在起草制定中，這些標準的制定計劃都是在2022年下達的。 全國微機電技術標準化技術委員會成立于2008年，目前包括即將實施的標準在內(nèi)，共有31項MEMS標準，可見近年來我國MEMS標準建設正在加速。

▲來源：全國標準信息公共服務平臺 我國傳感器標準化情況如何？什么是全國微機電技術標準化技術委員會？我國MEMS標準情況如何？ 首先需要說明的是，目前我國并沒有一個叫“全國傳感器技術標準化技術委員會”的標準機構(gòu)，來統(tǒng)一制定各種傳感器標準。 這主要是因為傳感器作為信息科技基礎，是各種儀器儀表、物聯(lián)網(wǎng)、汽車、消費電子、工業(yè)、航空航天等設備的關鍵基礎零部件，種類繁多且領域跨度極大，譬如同樣是壓力傳感器，用在消費電子跟用在工業(yè)、航空領域，技術要求、標定等等完全不一樣，極難統(tǒng)一。 因此，傳感器標準的制定歸口到各領域的標準化技術委員會中，如全國汽車標準化技術委員會下面就有相關汽車傳感器技術標準的制定。目前，傳感器標準涉及到十幾個標委會和行業(yè)歸口單位，包括：SAC/TC78（半導體器件）、SAC/TC103（光學和光子學）、SAC/TC104（電工儀器儀表）、SAC/TC124（工業(yè)過程測量控制和自動化）、SAC/TC159（工業(yè)自動化系統(tǒng)與集成）、SAC/TC284（光輻射安全和激光設備）、SAC/TC338（測量控制和實驗室電器設備安全）、SAC/TC419（儀表功能材料）、SAC/TC526（實驗室儀器及設備）、機械工業(yè)儀器儀表元器件標準化技術委員會等等。

相比傳感器領域標準化情況的復雜，MEMS技術的標準化情況就相對簡單的多。 全國微機電技術標準化技術委員會SAC/TC336（簡稱“微機電標委會”）是我國第一個MEMS技術國家標準團體，也是我國MEMS技術標準的主要歸口單位，我國多家MEMS傳感器著名企業(yè)均有參與，并進行相關標準的制定工作。 微機電標委會成立于2008年，主要負責關鍵尺寸在微米量級內(nèi)的機電一體化裝置的制造加工、 設計、 集成、 可靠性評價， 及檢測等共性技術領域的標準化工作。

▲來源：全國標準信息公共服務平臺 微機電標委會由機械科學研究院中機生產(chǎn)力促進中心籌建，由國家標準化管理委員會進行業(yè)務指導，現(xiàn)任秘書長為李根梓博士。 目前孫立寧院士任微機電標委會主任委員，孫立寧院士是國家“十五”863計劃機器人技術主題專家、國家“十五”863計劃MEMS重大專項總體組組長，相關資料參看《中國MEMS專家當選俄羅斯院士！》

▲微機電技術標準體系框架，來源：《SAC/TC 336 全國微機電技術標準化技術委員會微機電技術標準體系建設工作情況》 MEMS國際標準建設方面，自二十世紀末起， 微機電系統(tǒng)標準化工作就引起了國外發(fā)達國家和地區(qū)的標準化機構(gòu)與組織的重視，并開展了大量相關標準的研究與制定工作。 國際電工委員會在二十世紀九十年代末期，明確提出制定微機電 MEMS 標準， 并設立MEMS 工作組 （IEC/TC 47/WG 4），現(xiàn)已提升為分技術委員會 （IEC/TC 47/SC 47F）。這個分技術委員會也是國際標準化協(xié)會惟一一個微機電 MEMS 領域的委員會， 現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)布和計劃制定多項 MEMS 國際標準。

此外，國際半導體設備與材料協(xié)會 （Semiconductor Equipment andMaterials International，SEMI），在 2001 年成立了 MEMS 標準化工作組， 并制定了四個方向：潔凈室規(guī)范、術語、材料特性及封裝與處理。 美國材料與試驗協(xié)會 （ASTM） 、日本微機械中心 （MMC）均對MEMS技術的不同領域提出標準化方案。 目前，我國微機電系統(tǒng)標準化工作雖然落后于發(fā)達國家和地區(qū)， 但國際微機電標準化工作也處于起步階段，我國微機電系統(tǒng)標準化同國外先進水平差距不大。 關鍵的問題是，中國的標準化團體需要積極參與國際標準的制定，從而帶領國內(nèi)企業(yè)參與全球化合作和競爭。還有另一個MEMS國家標準單位？多個MEMS/傳感器標準化委員會有什么不同？ 此前，2023 年 4 月 6 日，全國集成電路標準化技術委員會（以下簡稱“集成電路標委會”）成立，這是我國集成電路領域首個一級標準化單位，由工信部直接領導。 集成電路標委會負責專業(yè)范圍包括：集成電路設備、半導體集成電路、膜集成和混合膜集成電路、微波集成電路、電路模塊、集成電路芯片及知識產(chǎn)權(quán)模塊（IP核）、集成電路微電子機械系統(tǒng)（MEMS）等產(chǎn)品的設計、生產(chǎn)和應用。

▲來源：全國標準信息公共服務平臺 可以發(fā)現(xiàn)，集成電路標委會也涵蓋了部分MEMS標準建設的任務，據(jù)此前披露的籌建信息顯示，集成電路標委會將設置4個分技術委員會，其中SC4微電子機械系統(tǒng)標準化分技術委員會圍繞MEMS系統(tǒng)設計、制造、使用等相關需求，開展標準化工作。

并且，籌建文件中，強調(diào)了集成電路標委會參與國際標準化工作的職責，將對標美國SEMI（國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）等國際組織，重點負責IEC/TC47/SC47A、SC47D、SC47F等國際對口標準化工作。 從上文介紹我們可以知道，IEC/TC 47/SC 47F即國際電工委員會MEMS分技術委員會。

▲分標委和工作組設置結(jié)構(gòu)（來源：全國集成電路標準化技術委員會籌建申請書） 因此，微機電標委會SAC/TC336與集成電路標委會微電子機械系統(tǒng)標準化分技術委員會SAC/TC599/SC4，在MEMS標準建設上可能部分存在重疊。但TC336將主導主要的MEMS國家標準建設工作，而TC599/SC4則主要聚焦于集成電路領域的MEMS技術應用。 在早期的集成電路標委會籌備文件中，沈陽儀表科學研究院、必創(chuàng)科技、深迪半導體、格科微、大立科技、瑞聲科技、歌爾股份、漢威科技等多家傳感器企業(yè)，作為MEMS單位參與集成電路標委會籌建工作，這些單位亦同樣深度參與了微機電標委會相關MEMS標準的建設工作。 多個MEMS技術標準分委會成立！中國MEMS標準正在不斷完善！ 隨著近年來MEMS技術的快速發(fā)展，以及在汽車、新能源等領域的不斷滲透，MEMS技術在眾多領域發(fā)揮了重要作用并亟需標準建設。 在微機電標委會SAC/TC336下，多個分委會相繼成立： 2022年12月，微機電標委會SAC/TC336成立能源領域MEMS標準化研究組，聚焦能源領域的MEMS傳感器技術發(fā)展及應用需求。 2023年6月，微機電標委會SAC/TC336車載MEMS標準化工作組成立，聚焦汽車領域MEMS標準體系的建設。

2023年8月，微機電標委會SAC/TC336籌備成立健康領域MEMS標準化研究組，該研究組由國家高性能醫(yī)療器械創(chuàng)新中心推動籌建，可見我們醫(yī)療器械領域的對MEMS技術的重視。 此外，微機電標委會SAC/TC336設立/籌備的標準化組有： 青年工作組/前沿技術研究組、MEMS器件標準化工作組、射頻MEMS標準化研究組、微尺度檢測標準化研究組、柔性電子標準化研究組、硅基MEMS工藝標準化研究組、能源領域MEMS技術標準化研究組、MEMS高端裝備應用標準化研究組、MEMS制造能力評估標準化研究組、MEMS慣性器件與系統(tǒng)標準化研究組、汽車MEMS傳感器標準化研究組等。 其中，多個標準化組在近幾年相繼成立，我國MEMS標準建設速度加快！結(jié)語 因為傳感器領域的特殊性，目前我國傳感器標準建設情況相對較復雜。 而MEMS國家標準主要歸口單位為全國微機電技術標準化技術委員會SAC/TC336，此外，另有新設立集成電路標委會微電子機械系統(tǒng)標準化分技術委員會SAC/TC599/SC4，主要負責集成電路領域MEMS國家標準建設工作。 從本文分析可以看到，近年來隨著我國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國家對智能傳感器的重視，MEMS國家標準建設速度明顯加快。MEMS標準從混亂走向秩序，MEMS領先者們正在建立領先優(yōu)勢和行業(yè)準入壁壘，中國MEMS/傳感器企業(yè)野蠻成長的時代將會結(jié)束，MEMS/傳感器初創(chuàng)企業(yè)們要把握好這個快速成長的時代機遇！ 參與制定標準，或者成為標準！

審核編輯 黃宇