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至純科技:濕法清洗設備已在14及7納米制程實現(xiàn)交付,可實現(xiàn)國產替代

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-10-13 09:35 ? 次閱讀
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近日,至純科技機關接受的調研時,公司的濕式清掃設備28納米,幾乎可以覆蓋整個工程的過程,有反復訂購,14納米和7納米制造工藝也多臺訂單,被顧客傳達,公司是濕式清掃領域國產大再能實現(xiàn)?!?/p>

據(jù)介紹,單晶硫酸設備是濕式工程設備中難度最高的工程機械。至純科技s300 spm機器已交付許多國內主流晶片工廠,并已應用于國內頭客戶的12英寸logic大量生產線。月產量最高可達6萬片。單一設備在大量生產線上的累計產量已超過20萬個,是高層濕式工程設備國產替代進口的重要里程碑。據(jù)至純科技,目前公司是國內唯一一家單晶硫酸設備達到上述單晶量產指標的制造企業(yè)。

同時,zemu表示,公司濕式設備逐步擴展成熟工藝的產品線,部分邏輯用戶和第三代半導體用戶的生產線滲透率持續(xù)提高。在獲得訂單的時間和用戶擴展生產的時間可能會產生影響,但高溫硫酸、finetch、單片磷酸等國際制造企業(yè)在機械壟斷、公司供貨及檢驗方面仍領先于國內。

至純科技同時從系統(tǒng)集成擴展到收益性更強的材料。至純科技于2022年初建成了國內第一家電子級大宗天然氣供應工廠。目前已經穩(wěn)定運營了1年多,每年都為穩(wěn)定的收入做出貢獻。這是國內首家完全自主建設的onsite大宗氣供應工廠。公司將繼續(xù)在電子氣電子化學產品領域擴大事業(yè)和品種,并增加對電子材料領域的投資。

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