10月26日，2023年全國電子顯微學學術(shù)年會在東莞市召開。國儀量子在會議期間重磅發(fā)布自主研制的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500、超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X，開啟了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的全新時代。

發(fā)布會現(xiàn)場，國儀量子應(yīng)用工程師詳細介紹了兩款全新電鏡的研發(fā)歷程與技術(shù)細節(jié)，并現(xiàn)場演示了雙束電鏡的測樣過程，點燃了與會嘉賓對國產(chǎn)高端電鏡的熱情。

與用戶共創(chuàng)！開啟國產(chǎn)電鏡全新時代

多年來，國儀量子的工程師持續(xù)深入現(xiàn)場，走到用戶身邊，挖掘其對性能、操作等多維度需求，并將這些反饋落實到產(chǎn)品規(guī)劃中。

張澤院士（右三）、陳江華教授（左四）、馬德生老師（左二）與國儀量子副總裁張偉（右二）、副總裁曹峰（左三）等人合影

此前，國產(chǎn)電鏡技術(shù)一直局限在顯微成像層面，難以滿足更高層次的微納表征、測量加工制造等綜合性需求。國儀量子抓住用戶痛點，基于深厚的技術(shù)積累與出色的產(chǎn)品工程化能力，研發(fā)了自主可控的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500。這標志著國產(chǎn)電鏡正式邁入了微納加工的全新時代。

針對有著更小觀測尺度、更高分辨率觀測需求的科研用戶，國儀量子推出了敢為人先、極具挑戰(zhàn)意識的，超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。進一步夯實了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的基礎(chǔ)。

聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

DB500

優(yōu)雅精“制”DB500

DB500擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機構(gòu)，擁有24個擴展口，配置全面，自主可控，擴展性強，為您打造全能納米分析和加工中心。

離子鏡筒"承影"

分辨率：3 nm@30 kV

探針電流：1 pA~50 nA

加速電壓范圍：500 V~30 kV

使用壽命：≥1000小時

長時間穩(wěn)定性：72小時不間斷工作

納米機械手

倉內(nèi)安裝方式

三軸全壓電驅(qū)動

步進精度≤10nm

最大移動速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協(xié)同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復(fù)定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍：室溫~90℃

集成式控制方式

產(chǎn)品優(yōu)勢DB50001高壓隧道技術(shù)和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品02“承影”離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣03樣品倉內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動的機械手，集成式控制方式，操作精準到位04自主可控，擴展性強，集成化設(shè)計的離子源更換時間快，極致的售后服務(wù)，提供免費的三年質(zhì)保無憂服務(wù)

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X

超高分辨 挑戰(zhàn)極限SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢SEM5000X01超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景03高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響04最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應(yīng)用需求

本屆會議期間，來自全國的近2000位顯微學人齊聚一堂，以振興電子顯微學事業(yè)發(fā)展為己任，瞄準國家重大需求和國際前沿科學問題，不斷為我國卡脖子難題的攻克貢獻中國電子顯微學者不可或缺的重要力量。國儀量子秉承”為國造儀“的初心，基于市場與用戶需求，堅持自主創(chuàng)新與科研攻關(guān)，為國產(chǎn)高端科學儀器發(fā)展和國家科技自立自強不懈努力。