中國近年來向著科技自立自強的方向邁出了堅定的步伐，核心技術(shù)不斷突破，高端儀器設(shè)備持續(xù)涌現(xiàn)。近日消息，由蘇州博眾儀器科技有限公司（簡稱博眾儀器）自主研發(fā)的200kV透射電子顯微鏡BZ-F200已經(jīng)進入了小批試產(chǎn)階段，這標志著國產(chǎn)首臺200kV透射電子顯微鏡取得重大突破。透射電子顯微鏡被列為受限制的“35項關(guān)鍵技術(shù)”之一，是半導(dǎo)體、生命科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域不可或缺的高端科學(xué)儀器，國內(nèi)市場需求巨大，但長期以來全部依賴進口，因此國產(chǎn)替代勢在必行。

博眾儀器透射電子顯微鏡總裝車間

博眾儀器自成立以來，專注于透射電子顯微鏡產(chǎn)品的研發(fā)，攻克了電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計、超精密加工與裝配、合軸聯(lián)調(diào)、納米級精度測角臺等一系列核心技術(shù)，于2022年7月完成了工程樣機的研制，達到了預(yù)期目標，并在半導(dǎo)體、生命科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域得到了應(yīng)用驗證。此后該公司又開發(fā)了第二代透射電子顯微鏡產(chǎn)品 BZ-F200，其性能指標同國外同類電鏡水平相當，首臺商業(yè)化產(chǎn)品交付在即。這期間公司實現(xiàn)了超高穩(wěn)定度高壓電源、場發(fā)射電子槍、熱場（肖特基）電子源、高穩(wěn)定度恒流源等核心技術(shù)與關(guān)鍵零部件的自主可控。

圖左一 電子源針尖與高溫比色 圖左二 電子加速陶瓷管

圖右一 200kV熱發(fā)射電子槍 圖右二 超高穩(wěn)定度高壓電源

據(jù)了解，BZ-F200這款產(chǎn)品可根據(jù)用戶需求選配熱發(fā)射電子槍或熱場發(fā)射（肖特基）電子槍，可實現(xiàn)EDS、STEM等多種功能。其工作電壓除200kV外，還可以切換至80kV、120kV等檔位。BZ-F200的鏡筒采用四級聚光鏡照明系統(tǒng)設(shè)計，可實現(xiàn)微米束和納米束、平行束和會聚束模式切換。

透射電子顯微鏡的研制得到了社會各界的廣泛關(guān)注與支持。近日，全國政協(xié)委員、中國物理學(xué)會常務(wù)理事、清華大學(xué)物理系教授段文暉院士及清華大學(xué)物理系陳曦教授一行蒞臨博眾儀器考察國產(chǎn)透射電子顯微鏡產(chǎn)業(yè)化進展情況，對博眾儀器所取得的重大成果給予了高度評價，對民營企業(yè)積極參與國家戰(zhàn)略給予了充分肯定，并對加快市場化推廣提出了殷切期望。

段文暉院士考察博眾儀器

蘇州博眾儀器科技有限公司表示，未來將繼續(xù)加大研發(fā)投入，不斷提升產(chǎn)品性能和技術(shù)水平，同時拓展基于電子束核心技術(shù)的多種類產(chǎn)品，為我國在高端儀器領(lǐng)域的發(fā)展注入新活力！