供應(yīng)鏈消息人士向WitDisplay透露，應(yīng)用材料全球首臺(tái)第6代AMOLED垂直蒸鍍機(jī)已出貨，成功打破日韓廠商在6代蒸鍍機(jī)的壟斷格局。

蒸鍍工藝是OLED制造的核心工藝之一，制約著OLED的良率和產(chǎn)能。根據(jù)精密金屬掩膜板(FMM)放置方向，蒸鍍工藝可分為水平蒸鍍以及垂直蒸鍍。

目前，水平蒸鍍是OLED產(chǎn)業(yè)的主流，6代水平蒸鍍機(jī)由日本佳能Tokki和韓國(guó)Sunic-System壟斷，已量產(chǎn)的6代OLED產(chǎn)線絕大部分采用佳能Tokki蒸鍍機(jī)，少部分采用Sunic System蒸鍍機(jī)，所以佳能Tokki是水平蒸鍍機(jī)的霸主。

不過(guò)，水平蒸鍍工藝并不完美，一直存在“重力下垂”的技術(shù)瓶頸。據(jù)介紹，F(xiàn)MM是超薄的金屬遮罩，當(dāng)水平放置時(shí)，在重力的作用下FMM中間與邊緣存在一定的偏移量，而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。這不利于提高AMOLED的PPI，使混色良率降低，大幅提高了AMOLED生產(chǎn)成本。

而垂直蒸鍍工藝最大的優(yōu)點(diǎn)就能避免水平蒸鍍工藝FMM“重力下垂”帶來(lái)的干擾。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置，F(xiàn)MM和玻璃基板形變小，蒸鍍更均勻，像素位置精度(PPA)更高，混色更小，同時(shí)可以提升分辨率，降低功耗、成本，成為一個(gè)重要的蒸鍍工藝制程方向。

當(dāng)前，只有JDI擁有一條垂直蒸鍍工藝低世代量產(chǎn)線，主要用于生產(chǎn)手表用的OLED。JDI表示，垂直方式蒸鍍?cè)O(shè)備所占面積相比目前的水平方式蒸鍍?cè)O(shè)備的減少30%。業(yè)內(nèi)人士也向WitDisplay透露，JDI為蘋(píng)果手表供應(yīng)的OLED就是采用垂直蒸鍍工藝生產(chǎn)的。

6代、8.5代垂直蒸鍍機(jī)沒(méi)有量產(chǎn)案例，三星顯示、京東方最新公布的8.6代OLED產(chǎn)線皆采用水平蒸鍍機(jī)，垂直蒸鍍機(jī)能否成功挑戰(zhàn)更為成熟的水平蒸鍍機(jī)，值得關(guān)注。

審核編輯：劉清