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長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)科技有限公司“沉積設(shè)備、靜電卡盤、加熱系統(tǒng)及其控溫技術(shù)”

微云疏影 ? 來(lái)源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2024-04-15 10:07 ? 次閱讀
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據(jù)天眼查披露,長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司于2024年4月5日發(fā)布了其關(guān)于“沉積設(shè)備、靜電卡盤、加熱機(jī)構(gòu)及其控溫方法”的專利,專利號(hào)為CN117821945A。

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此項(xiàng)發(fā)明涉及一種新型沉積設(shè)備、靜電卡盤和加熱機(jī)構(gòu),并提供了相應(yīng)的控溫方法。加熱機(jī)構(gòu)主要由導(dǎo)熱板、加熱組件及控制器組成。加熱組件包含至少兩個(gè)加熱元件,其中一個(gè)為主加熱元件,其他則作為備用??刂破髫?fù)責(zé)控制各加熱組件的運(yùn)行,并在主加熱元件發(fā)生故障時(shí)啟動(dòng)備用加熱元件。當(dāng)某加熱組件的主加熱元件失效時(shí),其備用加熱元件會(huì)立即投入使用,由于備用加熱元件與主加熱元件在導(dǎo)熱板上的位置基本重合,因此能夠有效防止加熱過(guò)程中出現(xiàn)中斷,確保導(dǎo)熱板受熱均勻,從而提高加熱機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性和控溫效果,進(jìn)而保障產(chǎn)品的加工質(zhì)量。

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