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探訪世界頂尖德國20nm晶圓工廠:匪夷所思的IC制造

454398 ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:春波綠影 ? 2012-06-20 17:26 ? 次閱讀
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電子發(fā)燒友網(wǎng)訊:星期五的早晨,一群記者從德累斯頓城市中心酒店步出,打算前往位于市郊的格羅方德的fab1 complex工廠。沿著一條狹窄的街道我們可以找到一個(gè)著名的教堂(圣母大教堂)。

德累斯頓Salzgasse大街的圣母大教堂

這個(gè)漂亮的教堂教育19世紀(jì),在二戰(zhàn)中被被戰(zhàn)火毀滅。之后被重建,直到2005年才完工,它被看做是和諧的象征。

經(jīng)過二十分鐘的長途跋涉,我們到達(dá)了格羅方德的FAB 1 complex工廠。

近距離接觸格羅方德的復(fù)雜的Fab 1。

這片區(qū)域是在1996年開辟出來的,第一條200mm的晶圓制造潔凈室與1999年在這里揭幕。這條潔凈室在不久以后就被清空了設(shè)備,并重新配置了300mm的半導(dǎo)體設(shè)備。這個(gè)目前只處理300mm直徑的晶圓。

因此它將來是否做450毫米的晶圓?這固然使這個(gè)地方避免成為一個(gè)被遺棄的晶圓廠,同時(shí)避免將所有的精力轉(zhuǎn)移到格羅方德在紐約的FAB 8。


歡迎來到格羅方德的 fab 1

今天的主持人,第一個(gè)發(fā)言者是Fab 1的副總裁和總經(jīng)理Rutger Wijburg。他曾經(jīng)在NXP工作過,在2011年10月1日加入了格羅方德,Wijburg整理出2011年間影響格羅方德28nm生產(chǎn)的幾個(gè)因素。他給記者們作了一個(gè)熱情的演講,在江湖中,他提及到在歐洲保留制造業(yè)的重要性。

格羅方德FAB 1的副總裁和總經(jīng)理 Rutger Wijburg

Winburg同樣提到20nm硅晶圓生產(chǎn)fab和一個(gè)超過三十億美元擴(kuò)張計(jì)劃去建立12000平方英尺的潔凈室以提高其制造能力,這就是為我們所知的Annex。

Fab1 complex的更多細(xì)節(jié),之前的fab30和fab36屬于超威半導(dǎo)體公司。

黃光之下的世界

很少機(jī)會(huì)你可以進(jìn)入正在運(yùn)行的晶圓工廠。工程部經(jīng)理通常都會(huì)非常保護(hù)他們的領(lǐng)域,同時(shí)會(huì)關(guān)注到在這樣一次到訪之后,故障率會(huì)大幅攀升。但允許進(jìn)入的記者已經(jīng)準(zhǔn)備好了“全副裝備”,使用防脫落的潔凈室紙質(zhì)筆記本和不接觸里面的任何東西。需要留意的是前端晶圓盒運(yùn)送車在機(jī)器之間運(yùn)送一箱一箱的晶片。FOUP是前端開啟時(shí)警員運(yùn)送盒的簡稱,每個(gè)盒子里面的空氣都是額外干凈的,且每個(gè)盒子可以運(yùn)送25個(gè)300mm直徑的晶圓。然而,這個(gè)簡稱在我們的詞匯里一般認(rèn)作foup,一個(gè)現(xiàn)在已經(jīng)有著其特定意思的詞。


德國的記者團(tuán),聆聽和記錄集成電路制作的復(fù)雜性。

黃色燈光是用來降低能量輸入到抵制和進(jìn)程中。然而晶圓是在級旗艦運(yùn)輸?shù)?。一個(gè)芯片制造商允許在其工廠拍照,而不顧忌泄露機(jī)密,這種做法實(shí)際上也是很罕有的。這個(gè)和接下來的照片都格羅方德里面的照片,在發(fā)布之前經(jīng)過了仔細(xì)審查。

薄鋼板在適當(dāng)?shù)奈恢萌p小負(fù)載,而更多的設(shè)備是帶來負(fù)載的。

擴(kuò)張的模件仍然相當(dāng)空,然而一些設(shè)備已經(jīng)適合用,同時(shí)其他的已經(jīng)合格了。

格羅方德的向?qū)дf更多有版港版制造的設(shè)備已經(jīng)在運(yùn)送過來,用來減弱負(fù)載,同時(shí)減小對地板的傷害。



把他帶到橋上

一個(gè)芯片生產(chǎn)所需的直徑為30mm的晶圓

格羅方德的fab 1的五個(gè)潔凈室都是通過高架橋連接的,這樣的話潔凈室的清潔度得到保證。



獵奇者的獎(jiǎng)勵(lì)

在餐館德累斯頓的潔凈室的過程穿這個(gè)帶有服裝。手套、頭套和口罩的清潔服最后終于得到了回報(bào),我們瞥見了在高處的foup-運(yùn)輸工具,編號001.

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