近日，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的“半導(dǎo)體設(shè)備及其磁控管組件”專利正式公布，申請日期為2024年5月7日，編號為CN117995642A。

該發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，提出的磁控管組件包括至少兩個(gè)滑槽，滑槽兩端分別位于兩個(gè)不同直徑的圓周上，并與轉(zhuǎn)盤徑向呈一定夾角。每個(gè)滑槽內(nèi)置有一個(gè)或者多個(gè)磁控管或配重，在滑槽中隨轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)而自由移動。同時(shí)，專利還介紹了限位件通過轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)盤相連，并有多個(gè)限位槽與滑槽相對應(yīng)，以固定相應(yīng)的磁控管或配重。

此項(xiàng)技術(shù)方案能夠?qū)崿F(xiàn)磁控管在靶材邊緣及內(nèi)側(cè)兩個(gè)位置間的切換和旋轉(zhuǎn)，具有結(jié)構(gòu)簡單、運(yùn)動軌跡清晰、易于操控、使用壽命長以及可靠性高的優(yōu)勢。