在光學(xué)應(yīng)用中，如光通信、光學(xué)穩(wěn)像、激光加工、激光合束等應(yīng)用中，光路調(diào)節(jié)是必不可少的過程，也是一個逐步優(yōu)化的過程，需要不斷的調(diào)整光路，優(yōu)化光的傳播路徑，由于光是以電磁波的形式進行傳播，光的波長一般在微米、納米之間，所以在光路調(diào)節(jié)時通常需要非常高的精度和快速的響應(yīng)速度，從而獲得更為精準的結(jié)果。壓電偏轉(zhuǎn)鏡可為光路調(diào)節(jié)提供高精度、快速的反應(yīng)速度和更高的頻率，且采用閉環(huán)控制系統(tǒng)具有更高的定位精度，實現(xiàn)精準定位和控制。

S31系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡

S31系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一款大行程二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，使θx、θy軸具有同樣的高性能，保證其高運動精度和穩(wěn)定性，偏轉(zhuǎn)角度可達8.5mrad，通過內(nèi)置高精度傳感器可進行閉環(huán)控制，閉環(huán)分辨率可達0.5μrad，可帶載φ12.7mm鏡片進行二維偏擺運動。其緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，體積更為小巧，可符合更多小型化、高速化、精準化的應(yīng)用場景。實物如下圖所示。

產(chǎn)品特點

θx、θy二維偏轉(zhuǎn)

偏轉(zhuǎn)范圍可達8.5mrad

分辨率可達0.05μrad

空載諧振頻率可達12kHz

產(chǎn)品應(yīng)用

1. 衛(wèi)星激光通信：在衛(wèi)星光通信中，由于大氣中的環(huán)境因素（如折射、散射、大氣湍流等）和激光束自身光束窄、發(fā)散角度小等問題，產(chǎn)生光路不穩(wěn)定、抖動等現(xiàn)象，使得激光光束在瞄準過程中容易聚焦困難偏離目標，導(dǎo)致通信差的問題。通過壓電偏轉(zhuǎn)鏡對光束超高精度的方向調(diào)整，以及毫秒量級的快速響應(yīng)可以很好的校正誤差，進行光信號間的瞄準、捕獲和跟蹤。

2. 光學(xué)成像：在光學(xué)成像過程中，由于平臺振動和姿態(tài)隨機擾動等各種影響因素都會使相機光軸偏移，使目標與聚焦面相對運動產(chǎn)生像移，會導(dǎo)致成像模糊的問題。利用壓電偏轉(zhuǎn)鏡對實時采集圖像與參考圖像間相對位移量進行補償、實時修正，可在確定的曝光時間內(nèi)得到高分辨率的圖像。

3. 激光加工：壓電偏轉(zhuǎn)鏡非常適用于集成到加工孔徑及孔距在微米級小孔的高精度超快激光加工應(yīng)用中。由于壓電偏轉(zhuǎn)鏡高精度、快速響應(yīng)速度等特點，可以解決微小孔加工精度低、孔徑不圓滑等問題。

4. 激光合束：激光合束是將多個激光束合并成一個激光束的過程，通過壓電偏轉(zhuǎn)鏡對光束進行反射、偏轉(zhuǎn)、匯聚等光路轉(zhuǎn)換方式進行多束光合成。

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E80.D3S/K-O壓電控制器

E80.D3S/K-O壓電控制器主要為驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計，具有3個輸出通道，其中第3路為恒壓輸出，適于差分驅(qū)動。采用20~30VDC供電，模擬閉環(huán)，數(shù)字控制，帶寬10kHz。它具有兩種形式，可選機箱封裝式或卡板式。

E80.B5S板卡式控制器

它是一款五通道輸出的壓電控制器，專為同時驅(qū)動兩臺壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計。它采用DC28V供電，輸出電壓為-20V~120V（可選 -20V~100V/150V），尺寸僅有222×180×40mm^3，它以板卡式小體積的特點解決了應(yīng)用空間受限的問題，并且E80.B5S使用特殊的元器件，并進行多項處理，使其適用于宇航級應(yīng)用。

審核編輯 黃宇