評(píng)價(jià)一款光刻膠是否適合某種應(yīng)用需要綜合看這款光刻膠的特定性能，這里給出光刻膠一般特性的介紹。
1. 靈敏度
靈敏度（sensitivity）是衡量曝光速度的指標(biāo)。光刻膠的靈敏度越高，所需的曝光劑量越小。曝光劑量以毫焦耳每平方厘米（mJ/cm2）為單位.光刻膠聚合物分子的解鏈或者交聯(lián)是通過吸收特定波長(zhǎng)的光輻射能量完成的。一種光刻膠通常只在某些特定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)使用，因此需要注意每款光刻膠的感光波段。
2. 對(duì)比度
由對(duì)比度高（contrast）高的光刻膠所得到的的曝光圖形具有陡直的邊壁（side wall）和較高的圖形深寬比（aspect ratio）。顯影曲線的斜率越大，光刻膠的對(duì)比度越高。對(duì)比度直接影響到膠的分辨能力。通過比較了不同的對(duì)比度的膠所形成的圖形輪廓（profile），我們可以發(fā)現(xiàn)在相同的曝光條件下對(duì)比度高的光刻膠相比于對(duì)比度低的光刻膠具有更加陡直的側(cè)壁。
3. 抗刻蝕比
如果光刻后道工藝是干法刻蝕，光刻膠作為刻蝕掩膜，就需要光刻膠具有較高的抗刻蝕性。這一性能通常是以刻蝕膠的速度與刻蝕襯底材料的速度之比來表示的（etch selectivity），又稱之為選擇比。如果如果某一光刻膠與硅的抗刻蝕比為10，這表明當(dāng)刻蝕硅的速度為1um/min時(shí)，光刻膠的刻蝕速度只有100nm/min。選擇比的高低也決定了需要多厚的膠層才能實(shí)現(xiàn)對(duì)襯底一定深度的刻蝕。
4. 分辨能力
光刻膠的分辨能力（resolution）是一個(gè)綜合指標(biāo)。影響分辨能力的因素有3個(gè)方面：①曝光系統(tǒng)的分辨率；②光刻膠的相對(duì)分子質(zhì)量、分子平均分布、對(duì)比度與膠厚；③顯影條件與前后烘烤溫度。一般較薄的膠層容易獲得更高的分辨率率，但是膠厚必須與光刻膠的選擇比或者lift-off層厚度加以綜合考慮。正膠的過曝過顯和負(fù)膠的過曝欠顯都會(huì)影響分辨率。烘烤溫度過高，使得光刻膠軟化流動(dòng)也會(huì)破壞曝光圖形的分辨率。
5. 曝光寬容度
如果光刻時(shí)使用的曝光劑量偏離了最佳曝光劑量，仍能獲得較好的圖形，說明這款光刻膠具有較大的曝光寬容度（exposure latitude）。正產(chǎn)情況下，光刻膠擁有一個(gè)最佳的曝光劑量，在光刻時(shí)，應(yīng)該使整個(gè)晶圓包表面的曝光劑量一致，且盡可能接近最佳曝光劑量，但是實(shí)際生產(chǎn)過程中，由于受外界環(huán)境的影響必然會(huì)有劑量的偏差。曝光寬容度大的膠受曝光能量浮動(dòng)或不均勻的影響較小，更適合生產(chǎn)需求。
6. 工藝寬容度
先后烘烤的溫度、顯影時(shí)間、顯影液濃度與溫度都會(huì)對(duì)最后的光刻膠圖形產(chǎn)生影響。每一套工藝都有相應(yīng)的最佳工藝條件。但當(dāng)這些條件偏離最佳值時(shí)，要求光刻膠的性能變化盡可能小。即有較大的工藝寬容度（process latitude）。這樣的膠對(duì)工藝條件的控制有一定的寬容性，因此可獲得較高的成品率。
7. 熱流動(dòng)性
每種膠都有一個(gè)玻璃態(tài)轉(zhuǎn)化溫度Tg（glass transition temperature）。超過這一溫度，膠就會(huì)呈熔融狀態(tài)。由于已成型膠的熱流動(dòng)性（thermal flow），會(huì)使顯影形成的圖形變形，影響圖形質(zhì)量和分辨率。當(dāng)然也可以利用這一特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)熱回流（reflow）工藝從而制作微透鏡陣列（MLA）結(jié)構(gòu)。
8. 膨脹效應(yīng)
有效負(fù)膠在顯影過程中會(huì)發(fā)生膨脹現(xiàn)象（swelling）。這主要是由于顯影液分子進(jìn)入膠的分子鏈。使膠的體積增加，從而使膠的圖形變形。
9. 黏度
黏度（viscosity）用于衡量光刻膠液體的可流動(dòng)性。黏度通?？梢杂霉饪棠z中的聚合物的固含量來控制。同一種膠根據(jù)濃度的不同可以有不同的黏度。而不同的黏度決定了該膠的不同涂覆厚度。這在厚膠工藝中非常明顯。光刻膠一但開瓶使用后隨著溶劑的揮發(fā)光刻膠的黏度和厚度也會(huì)有一定的變化。
10. 保證期限
每一款膠都有一定的保值期限（shelf life）。這是因?yàn)楣饪棠z中含有光敏物質(zhì)，存放時(shí)間過久會(huì)失去光活性、溶劑揮發(fā)。有些膠會(huì)因?yàn)槭軣岫冑|(zhì)，必須低溫存儲(chǔ)。光刻膠一般都是對(duì)外界光照敏感的，尤其是外界光源中的紫外光成分，所以光刻膠都是存儲(chǔ)在棕色試劑瓶中的，光刻膠工藝線都是在黃光環(huán)境中操作的。

審核編輯 黃宇