一、引言

IGBT（絕緣柵雙極型晶體管）作為電力電子領(lǐng)域的核心器件，廣泛應(yīng)用于新能源汽車、智能電網(wǎng)等關(guān)鍵領(lǐng)域。短路失效是 IGBT 最嚴(yán)重的失效模式之一，會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)癱瘓甚至安全事故。研究發(fā)現(xiàn)，IGBT 芯片表面平整度與短路失效存在密切關(guān)聯(lián)，探究兩者的作用機(jī)理對提升 IGBT 可靠性具有重要意義。

二、IGBT 結(jié)構(gòu)與短路失效危害

IGBT 由雙極型晶體管和 MOSFET 組合而成，其芯片表面通常包含柵極氧化層、源極金屬層等多層結(jié)構(gòu)。短路失效時(shí)，過大的電流會(huì)使芯片溫度急劇升高，超過材料耐受極限后引發(fā)器件損壞。據(jù)統(tǒng)計(jì)，在功率器件失效案例中，短路失效占比達(dá) 35% 以上，且一旦發(fā)生短路，IGBT 的失效時(shí)間通常在微秒級(jí)，難以通過保護(hù)電路完全避免。

三、芯片表面平整度差的成因與表征

3.1 成因分析

芯片制造過程中的光刻誤差、刻蝕不均勻以及封裝工藝中的壓力不均等，均會(huì)導(dǎo)致表面平整度偏差。例如，在薄膜沉積工藝中，若沉積速率不均勻，會(huì)使表面出現(xiàn)局部凸起或凹陷；封裝時(shí)引線鍵合的機(jī)械應(yīng)力也可能造成芯片表面形變。

3.2 表征方法

常用原子力顯微鏡（AFM）和激光干涉儀對芯片表面平整度進(jìn)行檢測。AFM 可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率的表面形貌分析，而激光干涉儀能快速獲取大面積表面的平整度數(shù)據(jù)。研究表明，當(dāng)表面粗糙度超過 5nm 時(shí)，對 IGBT 性能的影響顯著增加。

四、平整度差與短路失效的作用機(jī)理

4.1 電場分布畸變

芯片表面不平整會(huì)導(dǎo)致柵極氧化層厚度不均勻，使局部電場強(qiáng)度異常升高。當(dāng)電場超過氧化層擊穿閾值（約 10^7 V/cm）時(shí)，會(huì)引發(fā)氧化層擊穿，形成短路通道。仿真結(jié)果顯示，表面凸起處的電場強(qiáng)度可比平整區(qū)域高 20%-30%。

4.2 熱傳導(dǎo)路徑受阻

平整度差會(huì)使芯片與散熱基板的接觸面積減小，熱阻增大。短路時(shí)產(chǎn)生的熱量無法及時(shí)散發(fā)，導(dǎo)致局部熱點(diǎn)溫度超過硅材料的熔點(diǎn)（1414℃），造成芯片熔融失效。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明，表面平整度差的 IGBT 在短路時(shí)的結(jié)溫上升速率比正常芯片快 15%-20%。

4.3 機(jī)械應(yīng)力集中

表面不平整會(huì)在芯片內(nèi)部產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力集中，尤其是在溫度循環(huán)過程中，熱膨脹系數(shù)的差異會(huì)加劇應(yīng)力積累。當(dāng)應(yīng)力超過材料的屈服強(qiáng)度時(shí)，會(huì)引發(fā)芯片裂紋，進(jìn)而導(dǎo)致電短路。掃描電鏡觀察發(fā)現(xiàn)，失效 IGBT 芯片的裂紋多起源于表面不平整區(qū)域。

五、實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證與案例分析

某新能源汽車用 IGBT 模塊在運(yùn)行過程中頻繁發(fā)生短路失效，對失效芯片進(jìn)行檢測發(fā)現(xiàn)，其表面平整度偏差達(dá) 8nm，遠(yuǎn)超正常芯片的 3nm 標(biāo)準(zhǔn)。通過有限元仿真分析表明，表面凸起處的氧化層電場強(qiáng)度達(dá)到 1.2×10^7 V/cm，已超過擊穿閾值。更換平整度合格的芯片后，模塊的短路失效問題得到解決。進(jìn)一步實(shí)驗(yàn)顯示，當(dāng)表面平整度控制在 3nm 以內(nèi)時(shí)，IGBT 的短路耐受時(shí)間可延長至 10μs 以上，顯著提升了器件的可靠性。

激光頻率梳3D光學(xué)輪廓測量系統(tǒng)簡介：

20世紀(jì)80年代，飛秒鎖模激光器取得重要進(jìn)展。2000年左右，美國J.Hall教授團(tuán)隊(duì)?wèi){借自參考f-2f技術(shù)，成功實(shí)現(xiàn)載波包絡(luò)相位穩(wěn)定的鈦寶石鎖模激光器，標(biāo)志著飛秒光學(xué)頻率梳正式誕生。2005年，Theodor.W.H?nsch（德國馬克斯普朗克量子光學(xué)研究所）與John.L.Hall（美國國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所）因在該領(lǐng)域的卓越貢獻(xiàn)，共同榮獲諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。

系統(tǒng)基于激光頻率梳原理，采用500kHz高頻激光脈沖飛行測距技術(shù)，打破傳統(tǒng)光學(xué)遮擋限制，專為深孔、凹槽等復(fù)雜大型結(jié)構(gòu)件測量而生。在1m超長工作距離下，仍能保持微米級(jí)精度，革新自動(dòng)化檢測技術(shù)。

核心技術(shù)優(yōu)勢

①同軸落射測距：獨(dú)特掃描方式攻克光學(xué)“遮擋”難題，適用于縱橫溝壑的閥體油路板等復(fù)雜結(jié)構(gòu)；

（以上為新啟航實(shí)測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

②高精度大縱深：以±2μm精度實(shí)現(xiàn)最大130mm高度/深度掃描成像；

（以上為新啟航實(shí)測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

③多鏡頭大視野：支持組合配置，輕松覆蓋數(shù)十米范圍的檢測需求。

（以上為新啟航實(shí)測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

審核編輯 黃宇