光源在視覺(jué)系統(tǒng)中圖像非常重要，通過(guò)適當(dāng)?shù)墓庠凑彰骺梢詫⒈粶y(cè)物體的目標(biāo)信息與背景信息區(qū)分，以獲得高品質(zhì)，高對(duì)比度的圖像，從而可以降低圖像處理算法的難度，同時(shí)提供系統(tǒng)的精度和可靠性。光源在不同波段又分為可見(jiàn)光、紅外光、紫外光；其中紅外光由于其特殊的優(yōu)點(diǎn)，尤其是在半導(dǎo)體領(lǐng)域，近紅外光對(duì)半導(dǎo)體材料具有較強(qiáng)穿透力，在半導(dǎo)體領(lǐng)域的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)中，起到越來(lái)越重要的作用。

?概述

短波紅外(SWIR)的范圍在900到2500nm之間，較短的SWIR波長(zhǎng)大約從900nm到1700nm，在可見(jiàn)范圍內(nèi)表現(xiàn)與光子相似。雖然SWIR中目標(biāo)的光譜含量不同，但生成的圖像仍然更清晰，不像MWIR和LWIR光帶的低分辨率熱成像。這種優(yōu)勢(shì)讓SWIR與許多工業(yè)機(jī)器視覺(jué)應(yīng)用的需求更緊密地結(jié)合在一起。它占據(jù)了近紅外以上的電磁波譜，完全超出了傳統(tǒng)硅基成像傳感器的能力范圍。

優(yōu)點(diǎn)

所以，為何要使用短波紅外呢？因?yàn)槎滩t外具有以下一些優(yōu)點(diǎn)：

●高靈敏度

●高分辨率

●能在夜空輝光下觀測(cè)

●晝夜成像

●隱蔽照明

●無(wú)需低溫制冷

●可采用常規(guī)的低成本可見(jiàn)光透鏡

●尺寸小

●功率低

應(yīng)用

近紅外一般定義為700-2000nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光線，對(duì)于紅外攝像頭而言硅基傳感器的上限約為1100nm，銦鎵砷（InGaAs）傳感器大約1800nm左右，都是目前在近紅外顯微觀察中使用的主要傳感器，可覆蓋典型的近紅外頻帶。大量使用可見(jiàn)光難以或無(wú)法實(shí)施的應(yīng)用可通過(guò)近紅外成像完成。當(dāng)使用近紅外成像時(shí)，水蒸氣、硅、部分化合物、部分藍(lán)膜等特定材料均為透明，這為原材料檢測(cè)應(yīng)用提供了獨(dú)特的選擇，如硅片表面和內(nèi)部的成像缺陷。因此紅外顯微檢測(cè)被應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個(gè)方面。

此外，紅外光還有其他領(lǐng)域也應(yīng)用廣泛，如在食品領(lǐng)域上依據(jù)不同材料的吸光特性不同，在成像上會(huì)顯示不同的顏色，例如區(qū)分調(diào)味料、鹽、糖等；檢測(cè)蘋(píng)果內(nèi)部是否有壞損、區(qū)分水和油；區(qū)分不同的塑料物質(zhì)等。

紅外器件

紅外光源目前使用最多的是LED和鹵素?zé)簟?/p>

LED光源的優(yōu)點(diǎn)是發(fā)熱低、耗電低、與鹵素?zé)粝啾葔勖L(zhǎng)。因此，一般長(zhǎng)期使用的FA領(lǐng)域，LED是首選光源。

但是，LED光源與鹵素?zé)粝啾裙饬坎蛔?，并且一個(gè)LED光源很難檢測(cè)寬波長(zhǎng)范圍，增加光源量自然會(huì)增加成本。

鹵素?zé)舻娜秉c(diǎn)在于壽命短、發(fā)熱量高。鹵素?zé)襞cLED光源相比，光量高，波長(zhǎng)寬。因此鹵素?zé)敉ǔ＿m用于廣泛的波長(zhǎng)分析檢測(cè)。

搭配的相機(jī)鏡頭一般也為紅外的相機(jī)和鏡頭，紅外的相機(jī)鏡頭對(duì)紅外光的響應(yīng)更好，對(duì)紅外光線有著更好的透光率，成像效果更佳。

結(jié)語(yǔ)

紅外光及其成像具有其特殊的優(yōu)點(diǎn)，使得它們可以用于各種各樣的應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)，尤其是其對(duì)半導(dǎo)體材料的穿透能力，使其在半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，但并不是所有材料都對(duì)紅外波段有響應(yīng)，因此提前了解被檢測(cè)材料類型以及它對(duì)哪個(gè)波長(zhǎng)有響應(yīng)，是使用紅外檢測(cè)的前提之一。

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