近年來(lái)隨著高性能顯示器用量需求日漸增加。為突破OLED、LCD傳統(tǒng)的短板，F(xiàn)PD廠家相繼推出mini-LED、micro-LED技術(shù)?；谙嚓P(guān)半導(dǎo)體制程精度的提升，晶圓圖像缺陷檢測(cè)也需要更高精度大靶面、且適應(yīng)不同波段光學(xué)鏡頭，基于這種綜合需求茉麗特推出了大靶面高清MML5-HR60/80鏡頭。

一、應(yīng)用場(chǎng)景

1、mini / micro-LED缺陷檢測(cè)

在mini/Micro LED工藝中光電缺陷與結(jié)構(gòu)性缺陷，會(huì)致使屏幕的顯示效果不理想，嚴(yán)重影響用戶體驗(yàn)。

2、晶圓缺陷檢測(cè)

在mini/Micro LED工藝中光電缺陷與結(jié)構(gòu)性缺陷，會(huì)致使屏幕的顯示效果不理想，嚴(yán)重影響用戶體驗(yàn)。

二、應(yīng)用難點(diǎn)

Mini LED 與Micro LED自發(fā)光波段跨度大，普通鏡頭拍攝無(wú)法同時(shí)清晰對(duì)焦三個(gè)像素。

三、光學(xué)方案

可以采用MORITEX 大靶面高清5x鏡頭+65MP相機(jī)。根據(jù)mini LED、Micro LED顯示技術(shù)的發(fā)光原理與基材不同，產(chǎn)生的RGB三色光的中心波長(zhǎng)稍有區(qū)別，MORITEX在5X放大倍率φ43mm靶面的基礎(chǔ)上，細(xì)分出了MML5-HR60DVI-43M58與MML5-HR80DVI-43M58。

四、應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

1、優(yōu)異的色差校正

MML5-HR60DVI-43M58：在復(fù)消色差后，物方色差控制在1μ以內(nèi)，側(cè)重520~530nm波段的軸向色差校正, 適合micro-LED檢測(cè)；

MML5-HR80DVI-43M58：480-660nm波段色差控制在5μ以內(nèi)，側(cè)重580nm波長(zhǎng)的軸向色差校正，更適合miniLED檢測(cè)。

兩鏡頭在特定波長(zhǎng)做了針對(duì)性的軸向色差校正來(lái)適應(yīng)不同顯示面板的檢測(cè)，除此之外帶有同軸光插孔，使用不同波長(zhǎng)的光源針對(duì)同一樣品分時(shí)打光時(shí)（如紅色環(huán)光+藍(lán)色點(diǎn)光、綠色背光+藍(lán)色點(diǎn)光）也可消除因移焦造成的圖像模糊。

2、更高分辨率