在微觀尺度下，每一次納米級(jí)的移動(dòng)，都可能牽動(dòng)著一次技術(shù)突破。無論是修復(fù)微小的LED芯片，還是操控探針進(jìn)行納米級(jí)的定位，都需要一套能于方寸之間施展精準(zhǔn)控制的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。芯明天N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)，不僅體積小巧，更具備毫米級(jí)行程與納米級(jí)分辨率，是在受限空間中實(shí)現(xiàn)精密調(diào)整的理想選擇。

一、N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)為何出彩

芯明天N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)的核心優(yōu)勢(shì)，源于其精密的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)邏輯：

1.粘滑驅(qū)動(dòng)原理：采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的粘滑效應(yīng)，利用PZT壓電陶瓷的微形變，實(shí)現(xiàn)連續(xù)的納米級(jí)步進(jìn)，將微形變轉(zhuǎn)化為毫米級(jí)行程，兼顧納米級(jí)精度與毫米級(jí)長(zhǎng)行程范圍，單軸行程高達(dá)3.6mm(±1.8mm)。

2.極致緊湊：一維版本尺寸僅15×15×7mm^3，可以說是體積最小的毫米級(jí)行程位移臺(tái)，能輕松集成于空間受限的光學(xué)系統(tǒng)、真空腔體或便攜設(shè)備中，是小空間精密運(yùn)動(dòng)的絕佳解決方案。

3.多自由度拓展：可根據(jù)場(chǎng)景定制，像搭積木一樣構(gòu)建一維、二維、三維的精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，滿足不同場(chǎng)景的多維運(yùn)動(dòng)需求。

二、用于LED芯片的激光修復(fù)

在LED發(fā)光芯片的精細(xì)化制造流程中，對(duì)單個(gè)損壞的芯片進(jìn)行修復(fù)是提升良率的關(guān)鍵，N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)的高精度位移能力成為了LED芯片維修環(huán)節(jié)的核心支撐。

1.構(gòu)建動(dòng)態(tài)通孔：將四臺(tái)N11一維壓電馬達(dá)位移臺(tái)兩兩相對(duì)放置組合，并在其上安裝特制的帶矩形缺口的模板。通過控制四臺(tái)N11壓電馬達(dá)位移臺(tái)協(xié)同運(yùn)動(dòng)，即可在中心形成一個(gè)尺寸與位置均可調(diào)節(jié)的通孔（透光狹縫）。

2.精準(zhǔn)定位缺陷：當(dāng)識(shí)別到某個(gè)LED芯片存在缺陷時(shí)，可通過系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)N11壓電馬達(dá)位移臺(tái)帶動(dòng)遮擋板，快速精準(zhǔn)地暴露目標(biāo)芯片，為激光修復(fù)提供純凈的工作窗口，這樣在激光剝離不良芯片、電極補(bǔ)焊時(shí)，有效避免了對(duì)周邊正常芯片的損傷，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)區(qū)域的微創(chuàng)修復(fù)。

3.自適應(yīng)尺寸：從幾十微米到數(shù)毫米，通孔的尺寸可自由調(diào)節(jié)。這意味著能夠輕松應(yīng)對(duì)不同大小的LED芯片產(chǎn)品，極大地提升了設(shè)備的通用性與便捷性。

這套基于N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)的LED芯片修復(fù)解決方案，是邁向全自動(dòng)、高良率LED芯片量產(chǎn)的關(guān)鍵一環(huán)。它能集成到在線檢測(cè)與修復(fù)設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片缺陷的快速篩選與精準(zhǔn)處理，大幅節(jié)約成本，提升核心競(jìng)爭(zhēng)力。

另外，芯明天N59系列超聲壓電馬達(dá)位移臺(tái)同樣適用于此系統(tǒng)，N59超聲壓電馬達(dá)體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)受外界的電磁干擾和噪聲影響較小，運(yùn)動(dòng)速度快，步進(jìn)小，均勻穩(wěn)定，具有高性價(jià)比。

三、搭建多維精密探針臺(tái)

在半導(dǎo)體測(cè)試、生物顯微操作等領(lǐng)域，探針臺(tái)是延伸人類手眼、與微觀世界交互的利器。N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)，正是構(gòu)建這類高端設(shè)備的理想運(yùn)動(dòng)模塊。

1.搭建多維運(yùn)動(dòng)：利用多臺(tái)N11壓電馬達(dá)位移臺(tái)，可自由搭建出XYZ三軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。由于其本身極其緊湊，所構(gòu)成的探針臺(tái)整體尺寸也能得到優(yōu)化，為顯微鏡工作臺(tái)或?qū)嶒?yàn)腔體節(jié)省大量空間。

2.精準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)探針：將顯微探針或微注射針安裝在N11壓電馬達(dá)位移臺(tái)上，便可獲得納米級(jí)精度的操控能力。無論是定位一個(gè)特定的晶體管進(jìn)行電性能測(cè)試，還是將藥物注入單個(gè)細(xì)胞，N11壓電馬達(dá)位移臺(tái)都能平穩(wěn)、精確地將探針?biāo)瓦_(dá)目標(biāo)位置。

3.覆蓋長(zhǎng)行程運(yùn)作：3.6mm的行程在微操作相關(guān)應(yīng)用中意義重大，它意味著探針可以在一個(gè)相對(duì)較大的范圍內(nèi)尋找目標(biāo)，無需頻繁重新定位樣品，從而簡(jiǎn)化操作流程，提高實(shí)驗(yàn)與檢測(cè)效率。

從實(shí)驗(yàn)室的細(xì)胞顯微注射，到半導(dǎo)體工廠的芯片失效分析，再到前沿的掃描探針顯微鏡（SPM），由N11壓電馬達(dá)位移臺(tái)構(gòu)建的探針臺(tái)都能提供可靠的運(yùn)動(dòng)支持。它的模塊化特性更允許快速開發(fā)和定制，靈活滿足各種特殊的科研與工業(yè)需求。

N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)技術(shù)參數(shù)

N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)，其極致緊湊的設(shè)計(jì)、毫米級(jí)行程與納米級(jí)精度的完美結(jié)合，不僅解決了空間受限與高精度、長(zhǎng)行程不可兼得的行業(yè)痛點(diǎn)，更以其高度的模塊化和靈活性，成為了從LED芯片制造到生命科學(xué)等多個(gè)高端領(lǐng)域的好助手。

推薦控制器

E53.C1K-J小體積壓電馬達(dá)控制器專為驅(qū)動(dòng)壓電馬達(dá)而設(shè)計(jì)，是單通道開環(huán)壓電控制器，24VDC供電，采用數(shù)字控制，非常適用于驅(qū)動(dòng)N11系列壓電馬達(dá)位移臺(tái)。它的外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅有105×103×30.1mm^3，易于集成。

審核編輯 黃宇