在半導(dǎo)體制造工藝中，零部件表面的痕量金屬污染已成為影響產(chǎn)品良率與可靠性的關(guān)鍵因素。季豐CA實(shí)驗(yàn)室針對(duì)這一行業(yè)痛點(diǎn)，建立了完善的表面污染物檢測(cè)體系——通過稀硝酸定位提取技術(shù)與圖像分析、高靈敏度質(zhì)譜檢測(cè)的有機(jī)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)納米級(jí)金屬污染的精準(zhǔn)溯源。

技術(shù)方法的核心優(yōu)勢(shì)

選擇性溶解方案

采用高純度稀硝酸作為提取介質(zhì)，兼顧對(duì)多種金屬污染物的高效溶出能力與基底材料兼容性

空間分辨率控制

通過微升級(jí)液滴的定位沉積，實(shí)現(xiàn)對(duì)特定區(qū)域的定點(diǎn)分析，支持復(fù)雜形貌表面的檢測(cè)需求

定量標(biāo)準(zhǔn)化流程

結(jié)合ImageJ圖像分析軟件，建立從圖像采集、尺寸標(biāo)定到面積計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)流程

超高靈敏度檢測(cè)

配置Agilent 8900 ICP-MS系統(tǒng)，檢測(cè)限達(dá)到ppt量級(jí)，滿足最嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)

方法驗(yàn)證與參數(shù)優(yōu)化

我們通過系統(tǒng)的提取動(dòng)力學(xué)研究確定了5分鐘靜置時(shí)間的科學(xué)性：時(shí)間梯度實(shí)驗(yàn)顯示，主要污染物在2-5分鐘內(nèi)達(dá)到溶解平衡，繼續(xù)延長(zhǎng)時(shí)間對(duì)提取效率的提升不足5%。這一參數(shù)平衡了提取效率與操作風(fēng)險(xiǎn)，避免因溶劑揮發(fā)或基底侵蝕引入額外誤差。

實(shí)際應(yīng)用價(jià)值

該方法已成功應(yīng)用于多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的污染管控項(xiàng)目。在某次零部件異常分析中，我們通過表面多點(diǎn)篩查精準(zhǔn)定位了鎳污染區(qū)域（15.6 ng/cm2），為客戶提供了明確的污染分布圖譜，支撐其完成了針對(duì)性的工藝改進(jìn)。

技術(shù)平臺(tái)的延伸能力

當(dāng)前建立的"提取-成像-檢測(cè)"技術(shù)組合展現(xiàn)出良好的適應(yīng)性：既適用于晶圓傳輸機(jī)構(gòu)、反應(yīng)腔室內(nèi)壁等半導(dǎo)體核心部件，也可滿足航空航天精密部件等高端制造領(lǐng)域的檢測(cè)需求。相比TXRF等大型設(shè)備，該方案在保持檢測(cè)靈敏度的同時(shí)，具備更高的經(jīng)濟(jì)性與操作靈活性。

季豐電子CA實(shí)驗(yàn)室將持續(xù)優(yōu)化痕量分析技術(shù)平臺(tái)，通過嚴(yán)謹(jǐn)?shù)馁|(zhì)控體系和持續(xù)的方法驗(yàn)證，為半導(dǎo)體行業(yè)提供可靠的檢測(cè)數(shù)據(jù)支持，助力客戶提升產(chǎn)品良率與競(jìng)爭(zhēng)力。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測(cè)相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的賦能型平臺(tái)科技公司。公司業(yè)務(wù)分為四大板塊，分別為基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、軟硬件開發(fā)、測(cè)試封裝和儀器設(shè)備，可為芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、材料裝備等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測(cè)分析解決方案。

季豐電子通過國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機(jī)構(gòu)、公共服務(wù)平臺(tái)等企業(yè)資質(zhì)認(rèn)定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認(rèn)證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設(shè)有子公司。