實驗過程：

通過軟光刻制備PDMS微流道，通過Aigtek功率放大器ATA-1220E/ATA-2021B放大外加電壓，驅(qū)動壓電超聲換能器產(chǎn)生高頻機械振動，引起微流道內(nèi)部聲壓變化；超聲波加載過程中，使用高速顯微攝像的方式觀察微流道內(nèi)空化現(xiàn)象。

實驗結(jié)果：

實驗發(fā)現(xiàn)，對高于200kHz的頻段，微流控內(nèi)未發(fā)生空化現(xiàn)象。在100kHz–160kHz的加載超聲波作用下，微流道內(nèi)發(fā)生空化現(xiàn)象，伴隨壁面附著氣泡振蕩失穩(wěn)、釋放微氣泡、氣核傳遞等現(xiàn)象。

實驗中用到的ATA-2021B高壓放大器的參數(shù)指標(biāo)：

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