在半導(dǎo)體材料表征、光電探測(cè)器測(cè)試、高絕緣材料評(píng)估及靜電測(cè)量領(lǐng)域，對(duì)皮安（pA）至微安（μA）級(jí)別的微弱直流電流進(jìn)行精確測(cè)量是核心挑戰(zhàn)。吉時(shí)利（Keithley，現(xiàn)為是德科技旗下品牌）6487皮安表/電壓源將高靈敏度皮安表與可編程電壓源集成于一體，以其0.1 fA（10^-16 A）的最低測(cè)量分辨率、寬動(dòng)態(tài)范圍和內(nèi)置偏壓源，為微弱電流與高阻抗測(cè)量提供了高度集成的專業(yè)解決方案。

為確保此類高靈敏度儀器持續(xù)提供準(zhǔn)確可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)，對(duì)電磁環(huán)境、操作規(guī)范及儀器狀態(tài)的嚴(yán)格控制至關(guān)重要。深圳市寶安區(qū)沙井方豐瑞儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部在微弱電流與高阻測(cè)量設(shè)備服務(wù)領(lǐng)域具備專業(yè)能力，可為6487用戶提供全面的技術(shù)支持與服務(wù)保障。

6487：精密測(cè)量與可控偏置的融合

核心性能與技術(shù)特點(diǎn)：

卓越的電流測(cè)量靈敏度與精度

電流測(cè)量范圍覆蓋 20 fA 至 20 mA（分7個(gè)量程），最低分辨率達(dá) 0.1 fA。

基本精度：在2 nA量程，精度達(dá) ±0.3%。采用低噪聲輸入放大器，確保微小信號(hào)的準(zhǔn)確捕獲。

內(nèi)置可編程電壓源

提供 0 至 ±500 V 的可編程直流電壓輸出（電流限制10 mA），可作為被測(cè)器件（如光電二極管、絕緣樣品）的偏置電源。

支持 電壓掃描 模式，自動(dòng)執(zhí)行電流 電壓（I-V）特性曲線測(cè)量，極大簡(jiǎn)化測(cè)試流程。

針對(duì)高阻測(cè)量的優(yōu)化設(shè)計(jì)

高輸入阻抗（>200 TΩ）和極低的輸入偏置電流（典型值 < 3 fA），確保在測(cè)量高阻值時(shí)幾乎不產(chǎn)生負(fù)載效應(yīng)。

標(biāo)配三同軸（Triaxial）輸入接口，配合驅(qū)動(dòng)屏蔽技術(shù)，有效抑制電纜泄漏和外部干擾。

提供 ±1 V 模擬輸出，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)測(cè)量結(jié)果或連接記錄儀。

靈活的控制與數(shù)據(jù)接口

標(biāo)配 GPIB (IEEE-488) 和 RS-232 接口，支持SCPI指令，便于集成到自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)。

前面板提供清晰的數(shù)據(jù)顯示和直觀的菜單操作。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體器件漏電流測(cè)試：測(cè)量MOSFET的柵極漏電流、二極管的暗電流。

光電探測(cè)器與傳感器表征：測(cè)試光電二極管的光電流、暗電流及其隨偏壓的變化關(guān)系。

絕緣材料與薄膜分析：測(cè)量高分子材料、陶瓷、涂層的體電阻率和表面電阻率。

靜電與電荷衰減測(cè)量：測(cè)量由摩擦起電等產(chǎn)生的微弱電荷及其衰減過(guò)程。

專業(yè)校準(zhǔn)保障fA級(jí)測(cè)量的可信度

皮安表的測(cè)量精度極易受環(huán)境濕度、灰塵、靜電以及輸入端子污染的影響。其內(nèi)部的超高值反饋電阻和靜電計(jì)放大器的性能是保證精度的核心，需要定期進(jìn)行計(jì)量溯源。

深圳市寶安區(qū)沙井方豐瑞儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部在此領(lǐng)域能夠?yàn)橛脩籼峁╆P(guān)鍵支持：

fA級(jí)電流測(cè)量精度校準(zhǔn)：使用經(jīng)溯源的精密微弱電流源標(biāo)準(zhǔn)，在屏蔽環(huán)境下對(duì)6487各電流量程（尤其是fA、pA級(jí)）的測(cè)量精度進(jìn)行校準(zhǔn)。

內(nèi)置電壓源輸出精度校準(zhǔn)：對(duì)0至±500V電壓輸出的設(shè)定精度和穩(wěn)定性進(jìn)行校準(zhǔn)。

輸入特性驗(yàn)證：測(cè)量?jī)x器的輸入偏置電流和輸入阻抗，確保其滿足高阻測(cè)量要求。

三同軸接口與屏蔽效能檢查：檢查接口的清潔度與完整性，確保驅(qū)動(dòng)屏蔽功能正常。

故障診斷與維修：對(duì)讀數(shù)漂移、噪聲過(guò)大、無(wú)法歸零、電壓源輸出異常、通訊故障等問(wèn)題進(jìn)行專業(yè)診斷與修復(fù)。

結(jié)語(yǔ)

吉時(shí)利6487皮安表/電壓源以其高靈敏度、內(nèi)置偏置源和針對(duì)高阻測(cè)量的深度優(yōu)化，為科研和工業(yè)領(lǐng)域中的微弱電流測(cè)量提供了強(qiáng)大而方便的工具。它成功地將“測(cè)量”與“激勵(lì)”功能結(jié)合，簡(jiǎn)化了I-V特性測(cè)試的復(fù)雜度。

確保這一精密儀器在測(cè)量fA級(jí)電流時(shí)持續(xù)穩(wěn)定可靠，需要專業(yè)的知識(shí)和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)牟僮?。與 深圳市寶安區(qū)沙井方豐瑞儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部 這樣的專業(yè)服務(wù)伙伴合作，用戶可以確保其6487獲得從精密校準(zhǔn)、性能評(píng)估到故障維護(hù)的全方位保障，從而在探索微弱電流世界時(shí)，確保每一個(gè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性。

審核編輯 黃宇