導讀

當半導體行業(yè)持續(xù)快速擴張，市場規(guī)模即將突破1萬億美元大關(guān)，氣體泄漏檢測“盲點”如何破解？

半導體行業(yè)繁榮背后

氣體泄漏檢測存“盲點”

隨著AI、芯片、具身智能等行業(yè)的迅猛發(fā)展，半導體行業(yè)也迎來新一輪產(chǎn)能擴張潮。據(jù)瑞銀預(yù)測，2026年，全球半導體行業(yè)同比增速將超過40%，市場規(guī)模將首次突破1萬億美元。

在半導體行業(yè)快速擴建投產(chǎn)的進程中，氣體安全至關(guān)重要。電子特氣具有可燃、有毒、有害特性，廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等制造工藝。在氣體存儲、輸送、使用過程中，可能出現(xiàn)氣體泄漏，威脅工作人員生命安全。依據(jù)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準》(GB50646-2020)，需安裝氣體探測裝置對其進行持續(xù)性泄漏監(jiān)測。

值得注意的是，部分電子特氣化學性質(zhì)穩(wěn)定，如NF3、C5F8、 C4F6、 CH2F2、CH3F等，傳統(tǒng)的基于電化學傳感器的氣體探測器無法對其直接檢測，性能穩(wěn)定性氣體成為半導體工廠中的安全檢測“盲點”。

怎么確定待測氣體中是否存在這類穩(wěn)定氣體，以及如何測定其具體濃度呢？

一個確切可行的思路就是，先將待測氣體通過熱裂解方式，轉(zhuǎn)化成可被檢測的氣體，進而逆向推算出是否存在目標氣體及其濃度。這種“曲線救國”式探測方案的關(guān)鍵就在于熱裂解單元。

國內(nèi)首創(chuàng)安全組合

漢威熱裂解單元+氣體檢測儀

漢威科技集團推出國內(nèi)首創(chuàng)、自主研發(fā)的熱裂解單元GD-PU10、半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10，可探測包括性能穩(wěn)定性氣體在內(nèi)的上百種可燃、有毒、有害氣體。該產(chǎn)品已取得多項發(fā)明專利，核心性能行業(yè)領(lǐng)先，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等領(lǐng)域。

可擴展探測性能穩(wěn)定性氣體

熱裂解單元GD-PU10可通過持續(xù)高溫環(huán)境將化學性質(zhì)穩(wěn)定的含氟氣體裂解為化學性質(zhì)活潑的HF（氟化氫）氣體，搭配半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10，可擴展探測NF3、C5F8等多種含氟氣體。

上百種傳感器即插即用

傳感器采用模塊化設(shè)計，即插即用，更換維護靈活方便，支持搭配電化學、催化、光學等多種原理傳感器，滿足不同客戶的個性化需求。

ppb級高精度檢測

每種氣體傳感器均采用對應(yīng)溫度補償及融合算法，可實現(xiàn)ppb級高精度檢測，靈敏度高、響應(yīng)速度快，核心性能業(yè)內(nèi)領(lǐng)先。

30米遠距離檢測

搭配超穩(wěn)定電磁泵吸模塊，進氣管最長可達30米，輕松進行遠距離檢測，便于多個檢測儀產(chǎn)品矩陣化集中管理。

目前，漢威科技集團的熱裂解單元GD-PU10、半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10已成功應(yīng)用于多家半導體制造工廠，獲得客戶的廣泛認可。

結(jié)語

電子特氣是半導體行業(yè)“芯片血液”，氣體安全是高質(zhì)量發(fā)展的基石。漢威科技集團作為氣體傳感器與安全儀表領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，將以高端自研傳感器為核心的智慧安全解決方案護航半導體行業(yè)安全。