測試設(shè)備：電壓放大器(Aigtek的ATA-2041)、集成電容傳感器反饋的壓電致動大角度FSM原型、激光多普勒測振儀（Polytec，OFV-505/5000）、信號調(diào)理電路、計算機等。

實驗過程：先開發(fā)尺寸為40mm×40mm×20mm的集成電容傳感器反饋壓電致動大角度FSM原型，搭建實驗測試系統(tǒng)，先對電容傳感器進行標(biāo)定，再通過施加不同驅(qū)動信號測試FSM的掃描角度、角度階躍響應(yīng)、角度分辨率及固有頻率等靜動態(tài)特性，同時驗證了動力學(xué)模型對變幅值和變頻率驅(qū)動信號下輸入-輸出特性的表征有效性，最后搭建基于PID控制的閉環(huán)控制器并整定參數(shù)，針對變幅值（鋸齒波、階躍、方波）和變頻率（1Hz、10Hz、20Hz鋸齒波）驅(qū)動信號開展閉環(huán)控制實驗，量化分析控制精度以驗證閉環(huán)控制對遲滯特性的補償效果及FSM的實用潛力。

圖1：系統(tǒng)原理圖

圖2：實驗平臺

實驗結(jié)果：

1、開發(fā)出40mm×40mm×20mm的FSM原型，搭建含激光多普勒測振儀的實驗系統(tǒng)，電容傳感器標(biāo)定靈敏度為0.204°/mV。

2、120V驅(qū)動下FSM最大掃描角度3.50°、分辨率10μrad、固有頻率210.7Hz，階躍響應(yīng)超調(diào)量40.57%、響應(yīng)時間2.2ms。

3、動力學(xué)模型在變幅值和變頻率驅(qū)動下，與實驗結(jié)果吻合度高。

4、基于PID控制器的閉環(huán)控制有效補償遲滯，低頻率信號控制精度優(yōu)于高頻率。

圖3：角度大小實驗中的時間響應(yīng)曲線和掃描角度遲滯環(huán)

產(chǎn)品推薦：ATA-2041

圖：ATA-2041高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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審核編輯 黃宇