資騰科技將亮相SEMICONChina國際半導(dǎo)體展，展示CMP（ChemicalMechanicalPolishing，化學機械研磨）超潔凈空氣PVA刷輪。針對埃米時代對晶圓潔凈度與先進制程穩(wěn)定性的更高要求，該刷輪可有效降低微粒與制程殘留，縮短預(yù)清潔時間，并減少晶圓空片用量，同時實現(xiàn)100%去離子水透水率，全面強化先進制程與先進封裝良率。

資騰于2026年3月25日至27日參加SEMICONChina國際半導(dǎo)體展，并在上海新國際博覽中心N3館3187號展臺展示多項先進制程解決方案。

資騰總經(jīng)理陳國榮表示：“隨著半導(dǎo)體制程邁向更先進的埃米時代，材料與設(shè)備技術(shù)的整合能力將成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。我們將持續(xù)導(dǎo)入全球創(chuàng)新技術(shù)，并通過本地化技術(shù)服務(wù)，協(xié)助客戶打造更高效、更可持續(xù)的半導(dǎo)體制造環(huán)境?！?/p>

晶圓表面工程需要在納米級缺陷控制、材料保護與量產(chǎn)成本之間取得平衡，是影響先進制程與先進封裝良率的重要因素。在先進制程中，平整度不僅決定電路圖案能否“印得準”，更直接影響先進封裝芯片堆疊時是否能“貼得緊”，是決定半導(dǎo)體制造良率的重要環(huán)節(jié)。

針對先進制程挑戰(zhàn)，資騰本次展出的CMP超潔凈空氣PVA刷輪，在實際制程測試中可有效降低微粒與制程殘留物，并縮短預(yù)清潔時間（break-intime），減少晶圓空片（dummywafer）的用量；同時實現(xiàn)100%去離子水透水率，在清洗過程中有效降低用水量，從而減少CMP制程用水，進一步提升產(chǎn)線稼動率，降低資源消耗。該刷輪采用空氣發(fā)泡技術(shù)，材料具備無淀粉殘留特性，擁有業(yè)界最低金屬粒子與液體微粒子檢出量，可減少化學殘留與細菌滋生。

除了CMP潔凈制程技術(shù)外，資騰還展示了多項與環(huán)境可持續(xù)發(fā)展相關(guān)的制程解決方案。其中，IFC中性去光阻液具備高效去除有機揮發(fā)物且對人體無害的特性；MorikawaVOCs液化回收系統(tǒng)則通過壓縮冷凝技術(shù)回收制程排放氣體，回收效率可達99.9%，協(xié)助晶圓廠降低排放并提升資源利用效率。

1/2同時，資騰也在積極拓展新興應(yīng)用領(lǐng)域，包括硅光子設(shè)備與AI服務(wù)器雙相浸沒式冷卻技術(shù)。通過整合設(shè)備、材料與自動化技術(shù)，資騰持續(xù)為半導(dǎo)體與先進電子產(chǎn)業(yè)提供多元化制程解決方案。

展覽信息
展覽名稱：SEMICONCHINA2026
展覽時間：2026年3月25日至27日09:00am-5:00pm（最后一日僅開放至下午4時）
展位地點：上海新國際博覽中心（SNIEC）
展位編號：N3館3187號展位

關(guān)于資騰
資騰科技股份有限公司是佳世達集團旗下羅昇（8374）子公司，成立于1988年，是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體、平面顯示器及封裝設(shè)備與材料技術(shù)服務(wù)的企業(yè)。其主要專業(yè)領(lǐng)域包括黃光微影制程應(yīng)用、晶圓承載傳送系統(tǒng)、晶圓凸塊制程及檢測設(shè)備、激光應(yīng)用系統(tǒng)等。資騰科技堅持“誠信、專精、創(chuàng)新”理念，力求信守承諾、專注品質(zhì)與持續(xù)創(chuàng)新。

關(guān)于羅昇

羅昇企業(yè)成立于1984年，是亞洲傳動控制產(chǎn)品的領(lǐng)先品牌通路商，并于2019年通過友通投資正式加入明基佳世達集團。借助水平與垂直整合，羅昇成為制造業(yè)客戶實現(xiàn)智能自動化技術(shù)升級及綠色轉(zhuǎn)型的服務(wù)專家。羅昇企業(yè)與全球傳動控制領(lǐng)域領(lǐng)導(dǎo)品牌保持緊密合作關(guān)系，引進國際先進產(chǎn)品和技術(shù)，并通過自身技術(shù)服務(wù)及資源整合能力，將零部件硬件、集成產(chǎn)品及增值服務(wù)整合后傳遞給客戶。對于上游廠商，羅昇協(xié)助銷售產(chǎn)品，并提供市場動態(tài)及產(chǎn)品開發(fā)信息；對于下游客戶，羅昇不僅能夠提供多樣化品牌、完整產(chǎn)品線及一站式采購服務(wù)（One-StopShopping），還可通過全面的技術(shù)服務(wù)與物流解決方案（TotalSolution），幫助客戶降低成本與風險。羅昇總部設(shè)于臺灣，并在大陸和歐洲設(shè)有子公司，就近服務(wù)客戶需求。