紫色 (402 nm) 半導(dǎo)體激光器實(shí)現(xiàn)業(yè)界頂級光輸出功率 4.5 W (較新唐現(xiàn)有產(chǎn)品提升 1.5 倍)

擴(kuò)充面向先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的無掩模曝光用光源產(chǎn)品線

新唐科技將開始量產(chǎn)在直徑 9.0 mm 的 CAN 封裝（TO-9）[1]中實(shí)現(xiàn)業(yè)界頂級水平(*1)光輸出功率的"高輸出功率 4.5 W 紫色（402 nm）半導(dǎo)體激光器[2]"。本產(chǎn)品通過新唐獨(dú)有的器件結(jié)構(gòu)及散熱設(shè)計(jì)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了相比傳統(tǒng)產(chǎn)品(*2) 1.5 倍的光功率（402 nm, 3.0 W）輸出,有助于提升無掩模曝光裝置[3]等光學(xué)設(shè)備的生產(chǎn)通量。此外,隨著該產(chǎn)品的推出，進(jìn)一步加強(qiáng)了新唐在先進(jìn)半導(dǎo)體封裝[4]領(lǐng)域針對其多元化感光材料[5]的應(yīng)用能力和范圍。

(*1) 截至2026年4月15基于我們對波長為402 nm、TO-9 CAN封裝、在25°C殼溫（Tc）下連續(xù)波（CW）運(yùn)行的半導(dǎo)體激光器的研究。

(*2) 新唐原有產(chǎn)品 KLC432FL01WW (402nm, 3.0W, TO-9 CAN封裝)

新產(chǎn)品特點(diǎn)

在紫色（402 nm）波段實(shí)現(xiàn)4.5W高輸出功率,較我公司傳統(tǒng)產(chǎn)品提升1.5倍,有助于提高無掩模曝光設(shè)備等光學(xué)裝置的生產(chǎn)效率

擴(kuò)充面向先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的無掩模曝光用光源產(chǎn)品陣容,支持多種主流感光材料

擴(kuò)充了水銀燈替代解決方案[6]的產(chǎn)品陣容,為光源選型提供了新的選擇

產(chǎn)品詳情請?jiān)L問: https://nuvoton.co.jp/semi-spt/apl/rd/?id=1100-0273

新產(chǎn)品特點(diǎn)

1.在紫色（402nm）波段實(shí)現(xiàn)了 4.5 W 的高輸出功率,相比本公司傳統(tǒng)產(chǎn)品提升 1.5 倍,有助于提高無掩模曝光裝置等光學(xué)設(shè)備的生產(chǎn)效率

紫色（402 nm）半導(dǎo)體激光器由于光電轉(zhuǎn)換效率[7]相對較低、自身發(fā)熱量大,加之容易發(fā)生短波長光引起的器件劣化,因此在高輸出功率區(qū)域難以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。因此,本公司將 2026 年 1 月發(fā)布的新產(chǎn)品"高輸出 1.0W 紫外（379 nm）半導(dǎo)體激光器[8]"中采用的"提高光電轉(zhuǎn)換效率的器件結(jié)構(gòu)"和"高效散熱的高散熱封裝技術(shù)",也應(yīng)用到了紫光（402 nm）波段。特別是,通過采用抑制激光端面劣化因素的獨(dú)有保護(hù)膜技術(shù),提高了高輸出功率工作時(shí)的壽命性能,同時(shí)封裝采用了高散熱材料的一體成型結(jié)構(gòu),提升了散熱性能。因此,我們成功開發(fā)了與本公司傳統(tǒng)產(chǎn)品相比光輸出提升 1.5 倍、實(shí)現(xiàn)"高輸出功率（3.0 W）"與"可靠性"兼?zhèn)涞?高功率 4.5W 紫色（402 nm）半導(dǎo)體激光器"。該產(chǎn)品將為要求高品質(zhì)的產(chǎn)業(yè)用途光學(xué)裝置的生產(chǎn)通量提升做出貢獻(xiàn)。

"提高光電轉(zhuǎn)換效率的器件結(jié)構(gòu)" 與 "高效散熱的高散熱封裝技術(shù)"

2. 擴(kuò)充面向先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的無掩模曝光光源產(chǎn)品線,支持多種主流光刻膠材料

本產(chǎn)品在以 AI（人工智能）等需求擴(kuò)大為背景、市場快速增長的先進(jìn)半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的無掩模曝光技術(shù)中,將發(fā)揮巨大作用。在先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的電路形成過程中,基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)直接繪制電路的無掩模曝光技術(shù),除了能夠降低成本和縮短開發(fā)周期外,還可以根據(jù)基板的翹曲和變形進(jìn)行高精度的繪制校正,因此近年來備受關(guān)注。在該無掩模曝光技術(shù)中,作為主要光源之一的半導(dǎo)體激光器,為了對應(yīng)主要的感光材料,除了需要對應(yīng)接近汞燈發(fā)光譜線i線（365 nm）和h線（405 nm）的波長外,還要求實(shí)現(xiàn)高輸出功率化以提升設(shè)備的生產(chǎn)通量。此次,本公司在 2026 年 1 月發(fā)布的支持i線的"高功率 1.0 W 紫外（379 nm）半導(dǎo)體激光器"新產(chǎn)品基礎(chǔ)上,增加了支持h線的本產(chǎn)品,作為面向先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的無掩模曝光用光源。由此,新唐能夠全面提供支持多種主要感光材料、且有助于提升設(shè)備生產(chǎn)通量的激光光源。

面向先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的無掩模曝光中的主要感光材料與新唐提案產(chǎn)品

3. 擴(kuò)充汞燈替代解決方案產(chǎn)品陣容,為光源選型提供全新選擇

本產(chǎn)品是新唐"半導(dǎo)體激光器替代汞燈" 產(chǎn)品陣容的新成員。汞燈的特征譜線h線（405nm）廣泛應(yīng)用于光固化、3D 打印、傳感、生物醫(yī)療、標(biāo)記等領(lǐng)域,本產(chǎn)品作為這些應(yīng)用的替代光源,為客戶提供了新的選擇。此外,通過發(fā)揮本產(chǎn)品的高功率輸出性能這一特點(diǎn),還將有助于實(shí)現(xiàn)以往難以達(dá)成的工藝高效化,以及創(chuàng)造新的光應(yīng)用。

新唐推出的"半導(dǎo)體激光器替代汞燈"

應(yīng)用領(lǐng)域

無掩模曝光

樹脂固化

傳感

打標(biāo)

3D打印

生物醫(yī)療

汞燈的替代光源

產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)：KLC434FL01WW

波長：402 nm

光輸出功率：4.5 W

封裝類型：TO-9 CAN

量產(chǎn)開始：2026年5月（暫定）

術(shù)語說明

[1] TO-9 CAN：直徑為9.0mm的CAN型封裝。

[2] 紫色半導(dǎo)體激光器：我們的定義是指發(fā)射峰值波長約為402nm或更短的激光半導(dǎo)體激光器。

[3] 無掩模曝光：一種基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)置接在基板上曝光光敏材料（光刻膠），無需使用光掩模而形成精細(xì)圖案的技術(shù)。當(dāng)使用激光光源時(shí)，也被稱為激光置接成像（Laser Direct Imaging，LDI）。

[4] 先進(jìn)半導(dǎo)體封裝：一種實(shí)現(xiàn)技術(shù)，通過將多個(gè)半導(dǎo)體芯片高密度集成以優(yōu)化性能和功耗效率。

[5] 感光材料：在曝光工序中使用的、通過光照射而改變性質(zhì)的材料的總稱。主要指涂布在基板上的光刻膠(抗蝕劑),通過曝光、顯影工序形成微細(xì)圖案。根據(jù)光源波長優(yōu)化靈敏度的材料被采用

[6] 汞燈替代解決方案：新唐科技推出的半導(dǎo)體激光器系列，旨在替代汞燈的發(fā)射線：i線（365 nm）、h線（405 nm）和g線（436 nm）。我們建議結(jié)合使用紫外半導(dǎo)體激光器（379 nm）、紫色半導(dǎo)體激光器（402 nm）和靛藍(lán)色半導(dǎo)體激光器（420 nm）。

[7] 光電功率轉(zhuǎn)換效率（Wall-Plug Efficiency，WPE）：一個(gè)表示將電能輸入轉(zhuǎn)換為光輸出效率的指標(biāo)。它通常用于表示半導(dǎo)體激光器的發(fā)光效率。

[8] 紫外半導(dǎo)體激光器：我們的定義是指發(fā)射峰值波長約為380nm或更短的激光半導(dǎo)體激光器。

關(guān)于OPIE（OPTICS & PHOTONICS International Exhibition）

2026 年 4 月 22 日 (周三) 至 24 日 (周五)，將在太平洋橫濱國際會(huì)展中心舉辦的日本最大規(guī)模的光學(xué)技術(shù)與光子學(xué)領(lǐng)域?qū)I(yè)展覽會(huì)。產(chǎn)業(yè)界、學(xué)術(shù)界及研究機(jī)構(gòu)之間將開展活躍的交流。

本產(chǎn)品預(yù)定在 OPIE 2026 展出。