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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)控制驅(qū)動討論

2012-10-08 | pdf | 383 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

Abstract: The number of uses for microelectromechanical systems (MEMS) is growing—they allow us todo jobs once considered impossible. This tutorial explains the applications for MEMS and the increasingneed to provide precision control and drivers for these devices. Design and manufacturing considerationsare also discussed.
mems 微機(jī)電系統(tǒng)
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