資料介紹
在單晶硅生產(chǎn)過程中,硅片的直徑大小和晶體生長過程的自動(dòng)化程度,對生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量有很大的影響。硅單晶生長技術(shù)的發(fā)展要求設(shè)備智能化具備穩(wěn)定性好、質(zhì)量可靠、操作使用方便等。最大限度免除認(rèn)為因素對生長過程的干擾,必須提高和優(yōu)化設(shè)備的穩(wěn)定性、精確性和智能程度。單晶爐控制柜控制整個(gè)單晶爐安全正常運(yùn)轉(zhuǎn)和加熱功率的變化,控制真空系統(tǒng)運(yùn)行。

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