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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的研究進(jìn)展

      化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的研究進(jìn)展

      2018-11-16 | pdf | 0.72 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　化學(xué)機(jī)械拋光（chemical mechanical polishing，簡稱CMP）技術(shù)幾乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技術(shù)，可廣泛用于集成電路芯片、計(jì)算機(jī)硬磁盤、微型機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、光學(xué)玻璃等表面的平整化該文綜述了CMP技術(shù)的研究現(xiàn)狀，指出了CMP急待解決的技術(shù)和理論閥題，并對(duì)其發(fā)展方向進(jìn)行了展望．

      集成電路 mems CMP
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