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靜電式微開關(guān)硅懸臂梁的變形分析:介紹了一種計(jì)算微開關(guān)的硅懸臂梁在電場(chǎng)力作用下的變形的方法, 由于作用在梁上的載荷隨著梁的變形而變化,用積分法計(jì)算存在相當(dāng)困難,以下提出了一種計(jì)算變形的新方法:將梁分為m 個(gè)小段,則梁上的分布力可近似為m 個(gè)集中力,將初始均布載荷分成n 步,逐步加載,在每個(gè)載荷步后根據(jù)變形結(jié)果修正m 個(gè)集中力,同時(shí)增加一個(gè)載荷增量,作為下一步的載荷。只要m 和n 取到充分大,就可得到梁變形的精確結(jié)果。
關(guān)鍵詞:懸臂梁; 變形; 增量法
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靜電
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