短波紅外 InGaAs 焦平面探測(cè)器具有探測(cè)率高、均勻性好等優(yōu)點(diǎn)，在航天遙感、微光夜視、醫(yī)療診斷等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。近十年來(lái)，中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所圍繞高靈敏度常規(guī)波長(zhǎng)（0.9 ~ 1.7 μm）InGaAs 焦平面、延伸波長(zhǎng)（1.0 ~ 2.5 μm）InGaAs 焦平面以及新型多功能 InGaAs 探測(cè)器取得了良好進(jìn)展。在常規(guī)波長(zhǎng) InGaAs 焦平面方面，從 256 × 1、512 × 1 元等線列向 320× 256、640 × 512、4 000 × 128、1280 × 1024 元等多種規(guī)格面陣方面發(fā)展，室溫暗電流密度優(yōu)于 5 nA/cm2，室溫峰值探測(cè)率優(yōu)于 5 × 1012 cm·Hz1/2/W。在延伸波長(zhǎng) InGaAs 探測(cè)器方面，發(fā)展了高光譜高幀頻 1024 × 256、1024 × 512 元焦平面，暗電流密度優(yōu)于 10 nA/cm2 和峰值探測(cè)率優(yōu)于 5 × 1011 cm·Hz1/2/W@200 K。在新型多功能 InGaAs 探測(cè)器方面，發(fā)展了一種可見(jiàn)近紅外響應(yīng)的 InGaAs 探測(cè)器，通過(guò)具有阻擋層結(jié)構(gòu)的新型外延材料和片上集成微納陷光結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn) 0.4 ~ 1.7 μm 寬譜段響應(yīng)，研制的 320 × 256、640 × 512 焦平面組件的量子效率達(dá)到 40%@0.5 m、80%@0.8 m、90%@1.55 m；發(fā)展了片上集成亞波長(zhǎng)金屬光柵的 InGaAs 偏振探測(cè)器，其在 0°、45°、90°、135°的消光比優(yōu)于 20:1。

　　引言

　　短波紅外探測(cè)廣泛應(yīng)用于航天遙感、微光夜視、醫(yī)療診斷、農(nóng)業(yè)工業(yè)、安全監(jiān)控等領(lǐng)域?；?IIIV 族 InP / InGaAs 材料體系短波紅外 InGaAs 探測(cè)器，具高探測(cè)率、高均勻性、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，是發(fā)展小型化、低功耗和高可靠性短波紅外光電系統(tǒng)的理想選擇之一。近年來(lái)，國(guó)內(nèi)外研究機(jī)構(gòu)在短波紅外 InGaAs 焦平面探測(cè)領(lǐng)域開(kāi)展了大量相關(guān)研究。2015 年，美國(guó) UTC Aerospace Systems 公司推出了像元尺寸為 12.5 μm × 12.5 μm 的 640 × 512 型短波紅外 InGaAs 成像機(jī)芯，重量小于 45 g，功耗小于 1.5 W。 2018 年，該公司報(bào)道了規(guī)模 4000× 4000 的近紅外 InGaAs 焦平面探測(cè)器及機(jī)芯，中心距為 5μm，相機(jī)系統(tǒng)的量子效率 》70%。美國(guó) Teledyne Technologies 公司開(kāi)展了中心距為 15、10 μm 的 1280 × 1024 元面陣研究。此外，英國(guó)的 Photonic Science Limited，法國(guó) Sofradir 公司，以色列的 SCD 公司、比利時(shí)的 XenICs 公司等也長(zhǎng)期致力于 InGaAs 焦平面探測(cè)器的研制和應(yīng)用。中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所圍繞航天遙感工程的應(yīng)用需求，在高靈敏度常規(guī)波長(zhǎng)（0.9～1.7 μm）InGaAs 焦平面、延伸波長(zhǎng)（1.0～2.5 μm）InGaAs 焦平面以及新型多功能 InGaAs 探測(cè)器取得了良好進(jìn)展。在常規(guī)波長(zhǎng) InGaAs 焦平面方面，從 256 × 1、512 × 1 元等線列向 320× 256、640 × 512、4000 × 128、1280 × 1024 元等多種規(guī)格面陣方面發(fā)展，探測(cè)率和暗電流水平不斷提高。在延伸波長(zhǎng) InGaAs 探測(cè)器方面，發(fā)展高光譜高幀頻 1024 × 256、1024 × 512 元焦平面。在新型多功能 InGaAs 探測(cè)器方面，發(fā)展了一種寬譜段響應(yīng)的 InGaAs 探測(cè)器，通過(guò)具有阻擋層結(jié)構(gòu)的新型外延材料和片上集成微納陷光結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了可見(jiàn)波段拓展和較高的量子效率；發(fā)展了片上集成亞波長(zhǎng)金屬光柵的 InGaAs 偏振探測(cè)器，提高偏振器件的消光比。我國(guó)自主研制的短波紅外 InGaAs 焦平面探測(cè)器已經(jīng)進(jìn)入了航天工程應(yīng)用中，至今在軌穩(wěn)定運(yùn)行兩年多，在對(duì)地觀測(cè)、氣象預(yù)報(bào)中發(fā)揮了重要作用。文中綜述了十余年來(lái)，中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所短波紅外 InGaAs 焦平面探測(cè)器研究進(jìn)展。