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用于紫外發(fā)光二極管的碳化硅上的氮化鋁鎵

2023-02-21 | pdf | 0.26 MB | 次下載 | 2積分

資料介紹

一直在使用碳化硅(碳化硅)襯底生長氮化鋁(AlGaN)結(jié)構(gòu),針對278nm深紫外(UV-C,100-280nm波長)發(fā)光二極管(LED)。使用 薄膜翻轉(zhuǎn)芯片設(shè)備的表面粗糙化,使光提取效率(LEE)比光滑表面的LED提高了3倍。在低TDD[線程位錯密度]的碳化硅上生長 AlGaNLEd的能力為制造高亮度、高LEE的高亮度、高功率UVled開辟了新的方法。260-280nm的波長范圍通過破壞病原體的 DNA和RNA分子實現(xiàn)有效消毒。
熱衷于對抗耐抗生素的細菌,如艱難梭菌(C。差異。),這種方法確實很難用化學(xué)方法來殺死。相比之下,紫外線消毒減少了 碳菌的差異。由于許多因素,制造高效的UV-cled一直具有挑戰(zhàn)性。材料質(zhì)量可以通過使用碳化硅而不是藍寶石,由于更緊密 的晶格和熱膨脹匹配。然而,與藍寶石不同的是,由于UV-C光的帶隙較窄,它被碳化硅強烈吸收。事實上,藍寶石經(jīng)常被用 于uv-cled。
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