以軸套為例，兩側圓柱用于裝配軸承，如果不同心，會造成軸在旋轉的時候別著勁，輕則只是噪音加大，嚴重時候軸承短時間就會損壞，導致價值不菲的整機停擺。

傳統(tǒng)檢測低效、模糊、不可靠

1、游標卡尺手工測量：反復測量兩側內孔不同方向上的尺寸，通過計算差值間接推測偏差。過程繁瑣，主觀性強，且無法獲取真實的軸線空間關系。

2、千分表打表驗證：需將軸承裝入軸套，置于磨床等設備上打表觀察跳動。此方法效率極低，依賴操作者經驗，難以獲得精確的數(shù)字化同心度值，且結果受安裝、設備狀態(tài)等多因素干擾。

這種“手眼協(xié)同”的方式普遍存在效率低下、誤差累積大、更無法提供精確的數(shù)字化結果。當質量工程師面對模糊的檢測數(shù)據(jù)時，生產線上潛藏的風險正在悄然累積。

高精度三坐標：精準、高效的解決方案

針對半導體設備核心部件嚴苛的同心度檢測需求，Mars Classic 8106 高性能橋式三坐標測量機結合ACH100T高精度測座及Power DMIS專業(yè)測量軟件，提供解決方案：

1、微米級精度保障：系統(tǒng)采用先進的光柵尺、精密機械結構與高剛性材料，結合ACH100T測座的重復定位精度，確保測量結果真實反映工件微米級的形位公差，為同心度判定提供堅實的數(shù)據(jù)基礎。

2、智能編程，一鍵測量：

（1）CAD數(shù)模驅動：將軸套的精確三維CAD模型直接導入Power DMIS軟件，作為測量的基準和路徑規(guī)劃依據(jù)。

（2）自動化程序編制：軟件根據(jù)模型特征和測量要求（如兩側內孔），快速生成高效、無碰撞的自動測量路徑。操作人員無需復雜編程。

（3）精準觸發(fā)采集：使用點測頭配合直測針，精確觸發(fā)采集兩側內孔圓柱面上的多個點（通常需滿足空間分布要求）。

3、科學計算，直觀呈現(xiàn)：軟件內置強大的幾何算法引擎，基于采集的點云數(shù)據(jù)，瞬間擬合出兩側內孔的理想圓柱軸線，并精確計算出兩軸線間的空間同心度誤差值（通常以最大距離或直徑差表示），同時也可精確給出孔徑尺寸。結果以數(shù)字、圖表（如偏差色譜圖）形式清晰呈現(xiàn)。

半導體精密制造的高地上，三坐標測量機已從單純的檢測工具，進化為驅動質量與效率雙提升的核心引擎。無論是簡單軸套還是復雜異形件，三坐標強大的空間解析能力均可應對，全面覆蓋半導體設備各類核心部件的檢測需求。