高精度三坐標測量機，結構形式基本上都是固定橋形式，固定橋精度高，但是占地面積都比較大。Mizar Gold相對于固定橋，占地面積小，總重量輕，運輸安裝方便。

Mizar Gold如何實現(xiàn)高精度

相信大家在用三坐標測量探測誤差（MPEP）的時候，都會發(fā)現(xiàn)一個現(xiàn)象，垂直度補償值越多（垂直結構沒調(diào)到位，通過軟件補償垂直度），探測誤差越差？

三坐標的誤差補償，主要就是通過軟件對結構的21項系統(tǒng)誤差進行補償。由于三坐標機器是X/Y/Z三個平移運動軸，像直線度這種誤差比較容易通過主機移動來補償，角度誤差，會通過算法轉化成平動進行補償。但是，結構上角度是始終存在的，沒辦法消除，就會因為角度帶來殘余誤差。

三坐標采用陶瓷橫梁和Z軸，確保了橫梁和Z軸的平面精度在2μm以內(nèi)，給整機的角度誤差控制在2角秒以內(nèi)。同時，陶瓷的剛性遠遠優(yōu)于花崗巖和鋁合金，這樣橫梁在受到滑架壓力的時候，也基本沒有變形量。因此，通過減小系統(tǒng)的結構誤差，減小補償量，從而提高系統(tǒng)的精度。

Mizar Gold如何實現(xiàn)穩(wěn)定性的提升

采用花崗巖或者鋁合金，長時間的穩(wěn)定性很難保證，采用陶瓷，能使導軌保持長時間的穩(wěn)定。

如下圖所示，同一臺機器，不同的橫梁材料，長時間檢測橫梁XRY的角擺，陶瓷橫梁的角擺穩(wěn)定在0.5角秒以內(nèi)波動，而鋁合金，XRY角擺的波動量在2角秒。

其次，通過將減速器的傳動，設計為多楔帶，能夠減少減速器傳動過程中的振動和刮邊，從而減少機器測量過程中的齒形嚙合帶來的不確定性，提高穩(wěn)定性。

除此之外，三軸采用非金屬材料，熱膨脹系數(shù)低且基本相同，實現(xiàn)三軸熱匹配。

而且，Mizar Gold三坐標測量機配備溫度傳感器，能對溫度變化進行補償。從而提高設備的精度和穩(wěn)定性。