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納米磁性薄膜材料的濕法工藝
馮則坤，何華輝
關鍵詞：納米薄膜，磁性材料，電鍍
摘 要：介紹了納米磁性薄膜材料特性、類型，綜述了近年來興起的濕法工藝及
其用濕法工藝制備的納米磁性薄膜材料的特性。
1 引言
為滿足電子設備小型化的要求，設備工作頻率逐漸向高頻方向發(fā)展。從
kHz 到MHz，進而向GHz 頻段擴展。為此，對在電子設備中占據很大體積和重量
的磁性器件，如電感器、變壓器的小型化、高頻化也提出了很高的要求。在這種
背景下，國際上對用磁性薄膜做成的微磁器件的研究及與半導體器件成為一體的
磁性IC 研究十分活躍。這些器件主要用于便攜式信息通信設備，如移動電話等。
在這些設備中，為保證其工作穩(wěn)定性及經濟性，電源部分的小型化和高效率化是
很重要的。所以薄膜化的磁性器件最早是從各種電感器、濾波器、DC/DC 變換器
中的變壓器等開始的。
馮則坤，何華輝
關鍵詞：納米薄膜，磁性材料，電鍍
摘 要：介紹了納米磁性薄膜材料特性、類型，綜述了近年來興起的濕法工藝及
其用濕法工藝制備的納米磁性薄膜材料的特性。
1 引言
為滿足電子設備小型化的要求，設備工作頻率逐漸向高頻方向發(fā)展。從
kHz 到MHz，進而向GHz 頻段擴展。為此，對在電子設備中占據很大體積和重量
的磁性器件，如電感器、變壓器的小型化、高頻化也提出了很高的要求。在這種
背景下，國際上對用磁性薄膜做成的微磁器件的研究及與半導體器件成為一體的
磁性IC 研究十分活躍。這些器件主要用于便攜式信息通信設備，如移動電話等。
在這些設備中，為保證其工作穩(wěn)定性及經濟性，電源部分的小型化和高效率化是
很重要的。所以薄膜化的磁性器件最早是從各種電感器、濾波器、DC/DC 變換器
中的變壓器等開始的。
納米
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工商網監(jiān)
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