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基于視頻共焦顯微鏡光刻對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究
王魯賓，周金運(yùn)，宋超
（廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院，廣東 廣州 510006）
摘要：針對(duì)目前研究的激光投影光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)需要,設(shè)計(jì)了一套基于視頻圖像對(duì)準(zhǔn)原理的激光投影光刻對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。詳細(xì)分析了共焦顯微鏡和CCD 相關(guān)雙采樣圖像處理關(guān)鍵技術(shù)在本系統(tǒng)中的應(yīng)用,結(jié)果表明CCD 圖像的質(zhì)量明顯提高,從而提高了視頻圖像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度，完全滿足系統(tǒng)分辨精度2.5um 的
要求。
關(guān)鍵詞：視頻圖像；對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；共焦顯微鏡；相關(guān)雙采樣
王魯賓，周金運(yùn)，宋超
（廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院，廣東 廣州 510006）
摘要：針對(duì)目前研究的激光投影光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)需要,設(shè)計(jì)了一套基于視頻圖像對(duì)準(zhǔn)原理的激光投影光刻對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。詳細(xì)分析了共焦顯微鏡和CCD 相關(guān)雙采樣圖像處理關(guān)鍵技術(shù)在本系統(tǒng)中的應(yīng)用,結(jié)果表明CCD 圖像的質(zhì)量明顯提高,從而提高了視頻圖像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度，完全滿足系統(tǒng)分辨精度2.5um 的
要求。
關(guān)鍵詞：視頻圖像；對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；共焦顯微鏡；相關(guān)雙采樣
微鏡
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