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薄膜電阻的制造工藝和厚膜電阻還是有比較大的區(qū)別，厚膜電阻制造一般是采用絲網(wǎng)印刷工藝，而薄膜電阻制造一般是采用真空蒸發(fā)、磁控濺射等工藝，薄膜的形成實(shí)質(zhì)上是氣－固轉(zhuǎn)化、晶體生成的過程。薄膜電阻器是用類蒸發(fā)的方法將一定電阻率材料蒸鍍于絕緣材料表面制成的以種電阻。