射頻識別（Radio Frequency Identification，RFID）技術(shù)是通過無線電信號查詢目標(biāo)并讀取相關(guān)數(shù)據(jù)的一種通信技術(shù)，查詢系統(tǒng)與待測目標(biāo)之間不需要直接接觸就能識別［1］。主要通過無線射頻信號空間耦合作用實現(xiàn)傳遞并獲取識別對象的相關(guān)數(shù)據(jù)。聲表面波（Surface Acoustic Wave，SAW）標(biāo)簽屬于無芯片電子標(biāo)簽，它將接收到的高頻脈沖通過叉指換能器轉(zhuǎn)變成聲表面波，并在晶體表面?zhèn)鞑?，具有適應(yīng)惡劣環(huán)境、無源、識別距離長、批量生產(chǎn)成本低等優(yōu)點，與如今的IC電子芯片標(biāo)簽有良好的互補性。目前，SAW標(biāo)簽廣泛應(yīng)用于高速公路智能收費系統(tǒng)、車輛防盜識別、貨運管理網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)、供應(yīng)鏈管理等方面。

ZnO單晶由于其光電耦合系數(shù)高、溫度系數(shù)低且廉價易得等特性，備受國內(nèi)外研究機構(gòu)的關(guān)注。但目前國內(nèi)對于ZnO單晶研究卻少有報導(dǎo)。

1工作原理

1.1SAW射頻識別原理

圖1SAW射頻標(biāo)簽工作原理SAW射頻識別系統(tǒng)由閱讀器、聲表面波標(biāo)簽以及終端的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)這三部分組成。其中聲表面波標(biāo)簽由壓電基底以及沉融在基底上面的標(biāo)簽天線、反射柵和叉指換能器組成。其工作原理如圖1所示，標(biāo)簽天線接收到閱讀器發(fā)射的查詢信號后進入叉指換能器，由于存在逆壓電效應(yīng)將電信號轉(zhuǎn)化為聲表面波信號在ZnO單晶上傳播，經(jīng)過反射柵時由于反射形成回波信號［2］，回波信號再次經(jīng)過叉指換能器將正壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)換為脈沖回波信號發(fā)射給閱讀器。反射柵排列不同反射的回波信號也不同，所代表的標(biāo)簽信息也就不同。

特征頻率是聲表面波標(biāo)簽這種器件的主要參數(shù)，這個頻率即閱讀器發(fā)射射頻查詢脈沖的頻率。當(dāng)查詢信號頻率與標(biāo)簽的特征頻率相等時，此時轉(zhuǎn)化的聲表面波效率也最高、標(biāo)簽的插入損耗也最?。?］。因此閱讀器可通過查詢特征頻率來達到檢測不同標(biāo)簽的目的。本文利用COMSOL軟件有限元方法研究影響ZnO單晶射頻標(biāo)簽的頻率特性。

2二維模型結(jié)構(gòu)建立

叉指換能器（Inter Digital Transducer，IDT）由周期性排列并與匯流條交替連接的多對電極構(gòu)成。由于聲表面波主要集中在基底表面?zhèn)鞑ィ?］，能量也集中在表面附近。為減少仿真計算量并且確保仿真的精度，將周期性排列的叉指換能器簡化成由一對電極組圖2射頻標(biāo)簽二維模型成［5］。簡化后的標(biāo)簽二維模型如圖2所示。基片材料為ZnO單晶，取向為（0001），IDET采用金屬鋁電極。假設(shè)設(shè)計波長λ為10μm，叉指換能器電極寬度a為2 μm，電極高度h為0.2 μm，兩個電極中心間距p為5μm，模型邊界［6］如表1。表1射頻標(biāo)簽的邊界條件邊界ΓTΓBΓL，ΓR機械邊界條件自由固定自由電學(xué)邊界條件零電荷零電荷周期性邊界條件

2.1特征頻率研究

利用上面設(shè)計的尺寸建立模型后，在consol模塊里選擇特征頻率處理器求解標(biāo)簽特征頻率。由于叉指換能器的電極效應(yīng)，仿真過程中可以提取到兩個符合聲表面波振型的特征頻率，定義為正特征頻率fsc+和反特征頻率fsc-［7］。由圖3對稱模態(tài)圖和反特征模態(tài)圖可以看出對應(yīng)的聲表面波正特征頻率fsc+為268 MHz ，反特征頻率fsc-為275 MHz，并且發(fā)現(xiàn)振幅從上至下逐漸減小，同時發(fā)聲表面波只在基片表面1~2個波長深度內(nèi)傳播，符合聲面波傳播特性。

利用式（1）可計算出ZnO單晶的聲表面波相速度v=2 715 m/s，根據(jù)聲表面波器件工作原理可知，由圖4振動位移圖可以看出，當(dāng)外界查詢信號的頻率等于標(biāo)簽的特征頻率268 MHz時，此時聲表面波的振動位移達到最大。

veff=p×（fsc++fsc-）（1）

2.2反射柵設(shè)計

本文選擇金屬鋁作為反射柵材料，脈沖幅度編碼利用有無設(shè)置反射柵代表編碼的1和0。反射柵排列方式不同意味著標(biāo)簽攜帶信息編碼方式不同。當(dāng)聲表面波傳送到反射柵，由于反射和透射產(chǎn)生延遲，導(dǎo)致回波信號編碼信息不同，從而可以識別不同標(biāo)簽信息［810］。假設(shè)閱讀器發(fā)射一個查詢脈沖持續(xù)時間為to，載波中心頻率為fo。在叉指換能器IDT金屬鋁電極上加載隨時間變化的電壓，分別為sin（wt）rec（t）和sin（wt+π）rec（t），幅值為1 V。其中：rec（t）=1（0

圖5不同反射柵編碼對應(yīng)不同的回波脈沖相比發(fā)射的查詢波展寬了一倍，實際上回波脈沖在反射柵傳播時經(jīng)歷反射疊加造成回波脈沖的延展。制作標(biāo)簽時可通過在標(biāo)簽兩邊添加吸聲材料減少此延誤。

3結(jié)論

本文利用COMSOL軟件中有限元仿真模塊進行ZnO單晶射頻波標(biāo)簽特性研究，進行多物理域耦合建模與仿真。提取出符合聲表面波特性的模態(tài)圖，并計算出聲表面波在ZnO單晶傳播的相速度v=2 715 m/s，特征頻率為268 MHz。由于SAW集中在ZnO單晶表面1~2個波長范圍內(nèi)傳播，要使其激發(fā)出的聲表面波振動位移達到最大，外加的查詢信號頻率應(yīng)與其標(biāo)簽的特征頻率相等，才能符合聲表面波的特性。通過對射頻標(biāo)簽反射柵的仿真設(shè)計，進而可以簡單明了地識別標(biāo)簽。上述實驗結(jié)果表明了仿真研究的有效性，可以為實際制作射頻標(biāo)簽提供參考。

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