中芯國際表示深圳工廠進口光刻機不是EUV光刻機
IT之家3月6日消息 據(jù)中國證券報報道，3月6日下午從中芯國際獲悉，日前中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機，但這是設備正常導入，用于產(chǎn)能擴充，并非外界所稱的EUV光刻機。
IT之家今天早些時候報道，3月4日早上8點不到，中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司從從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)，這臺機器主要用于企業(yè)復工復產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴容。
據(jù)IT之家獲悉，EUV光刻機主要用于7nm及以下制程。中芯國際目前量產(chǎn)的最先進制程為第一代FinFET 14nm，已貢獻2019年第四季度1%營收。
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