近日，泛林集團(tuán)發(fā)布了一項(xiàng)革新性的等離子刻蝕技術(shù)及系統(tǒng)解決方案，旨在為芯片制造商提供先進(jìn)的功能和可擴(kuò)展性，以滿足未來的創(chuàng)新需求。泛林集團(tuán)開創(chuàng)性的Sense.i? 平臺(tái)基于小巧且高精度的架構(gòu)，能提供無與倫比的系統(tǒng)智能，以實(shí)現(xiàn)最高生產(chǎn)率的工藝性能，為邏輯和存儲(chǔ)器件在未來十年的發(fā)展規(guī)劃打下了基礎(chǔ)。

以泛林集團(tuán)行業(yè)領(lǐng)先的Kiyo?和Flex?工藝設(shè)備演變而來的核心技術(shù)為基礎(chǔ)，Sense.i平臺(tái)提供了持續(xù)提升均勻性和刻蝕輪廓控制所必需的關(guān)鍵刻蝕技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)良率的最大化和更低的晶圓成本。隨著半導(dǎo)體器件的尺寸越來越小，深寬比越來越高，Sense.i平臺(tái)的設(shè)計(jì)旨在為未來的技術(shù)拐點(diǎn)提供支持。

基于泛林集團(tuán)的Equipment Intelligence?（智能設(shè)備）技術(shù)，具備自感知能力的Sense.i平臺(tái)使半導(dǎo)體制造商能夠采集并分析數(shù)據(jù)、識(shí)別模式和趨勢，并指定改善措施。Sense.i平臺(tái)還具備自主校準(zhǔn)和維護(hù)功能，可減少停機(jī)時(shí)間和人工成本。該平臺(tái)的機(jī)器學(xué)習(xí)算法使設(shè)備能自適應(yīng)以實(shí)現(xiàn)工藝變化的最小化，以及晶圓產(chǎn)量的最大化。

Sense.i平臺(tái)具有革命性的緊湊型架構(gòu)，通過將刻蝕輸出精度提升50%以上，幫助客戶達(dá)成未來的晶圓產(chǎn)量目標(biāo)。隨著半導(dǎo)體制造商不斷開發(fā)更智能、更快速、更精細(xì)的芯片，工藝的復(fù)雜性和所需步驟也在與日俱增。這需要晶圓廠擁有更多的工藝腔室，因此降低了有限空間面積條件下的總產(chǎn)量。Sense.i平臺(tái)的占地面積更小，無論是新建晶圓廠或是正在進(jìn)行節(jié)點(diǎn)技術(shù)轉(zhuǎn)換的現(xiàn)有晶圓廠都能從中獲益。

“此次推出的是泛林集團(tuán)20年來研發(fā)的最具創(chuàng)新性的刻蝕產(chǎn)品，”泛林集團(tuán)刻蝕產(chǎn)品事業(yè)部高級(jí)副總裁兼總經(jīng)理Vahid Vahedi表示，“Sense.i擴(kuò)展了我們的技術(shù)路線圖，可以在滿足客戶下一代需求的同時(shí)，解決其在業(yè)務(wù)中面臨的嚴(yán)峻成本挑戰(zhàn)。每月有超過400萬片晶圓采用泛林集團(tuán)的刻蝕系統(tǒng)進(jìn)行加工，這一龐大的裝機(jī)數(shù)量為我們提供了豐富的經(jīng)驗(yàn)，使我們得以研發(fā)、設(shè)計(jì)和生產(chǎn)出最佳的半導(dǎo)體制造設(shè)備。”

圖注：泛林集團(tuán)全新的Sense.i刻蝕系統(tǒng)提供行業(yè)領(lǐng)先的生產(chǎn)率和創(chuàng)新的傳感技術(shù)