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光刻機原理介紹

汽車玩家 ? 來源:yxlady ? 作者:yxlady ? 2021-07-07 14:31 ? 次閱讀
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光刻機,是現(xiàn)代光學工業(yè)之花,是半導體行業(yè)中的核心技術(shù)。

可能有很多人都無法切身理解光刻機的重要地位,光刻機,是制造芯片的機器,要是沒有了光刻機,我們就沒有辦法造出芯片,自然也就不會有我們現(xiàn)在的手機、電腦了。

光刻機是用于芯片制造的核心設(shè)備,按照用途可以分為用于生產(chǎn)芯片的光刻機、用于封裝的光刻機和用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機。

光刻機的核心原理就是一個透鏡組,在精度上首先咱們有個概念:我們現(xiàn)在芯片的線條精度已發(fā)展到10nm級別,而較大的原子直徑是將近1nm,我們把芯片放在電子顯微鏡下即可清晰地數(shù)出每個線條上有幾個原子,“調(diào)節(jié)屈光度”是典型的幾何光學(初等光學)概念,遠遠實現(xiàn)不了這個精度。

幾何光學中,我們認為光是一條條“光線”,所以可以用透鏡等比例縮放。隨著人們更深入的了解,發(fā)現(xiàn)光其實是連續(xù)的“光波”,并不按直線傳播。再后來,人們發(fā)現(xiàn)光是一個個“粒子”(愛因斯坦因此獲得諾貝爾獎)再后來,人們發(fā)現(xiàn)光粒子具有“波粒二象性”,還具有量子效應。整個過程中,光的物理特性沒有改變。而是隨著人們觀察得越來越細致、越來越精密,逐步發(fā)現(xiàn)了光的特性。

文章綜合來源:yxlady

編輯:ymf

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