新能源汽車(chē)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展導(dǎo)致了對(duì)車(chē)規(guī)功率半導(dǎo)體的需求激增。碳化硅器件以其耐高壓、耐高溫和低損耗等優(yōu)越性能，成為新能源汽車(chē)所需的關(guān)鍵元器件。然而，國(guó)內(nèi)的車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅器件仍急需突破大規(guī)模制造能力的挑戰(zhàn)。

業(yè)內(nèi)人士預(yù)測(cè)，今年將成為8英寸碳化硅器件的元年。國(guó)際功率半導(dǎo)體巨頭Wolfspeed和意法半導(dǎo)體等公司正在加速推進(jìn)8英寸碳化硅技術(shù)。在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)方面，碳化硅設(shè)備、襯底和外延領(lǐng)域也有突破性進(jìn)展，多家行業(yè)龍頭選擇與國(guó)際功率半導(dǎo)體巨頭合作。

作為整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)含金量最高的環(huán)節(jié)，SiC襯底目前仍然由國(guó)際廠(chǎng)商占據(jù)領(lǐng)先地位，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商正在迎頭趕上。然而，近兩年來(lái)，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商在大尺寸襯底領(lǐng)域加速發(fā)展，已有10家國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商成功研發(fā)了SiC襯底。其中，天科合達(dá)、爍科晶體、合盛硅業(yè)和湖南三安等企業(yè)已實(shí)現(xiàn)小批量供貨、小批量生產(chǎn)和銷(xiāo)售以及量產(chǎn)階段。天岳先進(jìn)也宣布具備8英寸導(dǎo)電型SiC襯底的量產(chǎn)能力。

據(jù)報(bào)道，2023年6月，在SEMICON Taiwan 2023展會(huì)上，湖南三安首次發(fā)布了8英寸SiC碳化硅襯底，正式進(jìn)入國(guó)內(nèi)8英寸襯底領(lǐng)域。

根據(jù)湖南三安于10月23日晚間的披露，他們已經(jīng)成功完成了8英寸SiC襯底的開(kāi)發(fā)，并進(jìn)入了小批量生產(chǎn)和樣品發(fā)送階段。據(jù)了解，湖南三安的產(chǎn)品主要采用了精準(zhǔn)熱場(chǎng)控制的自主PVT工藝，這能夠?qū)崿F(xiàn)更低的成本和更低的缺陷密度。

這是一個(gè)重要的里程碑，標(biāo)志著湖南三安在SiC襯底領(lǐng)域取得了重要的突破。8英寸SiC襯底的成功開(kāi)發(fā)使得湖南三安能夠提供更多樣化的碳化硅襯底產(chǎn)品，滿(mǎn)足新能源汽車(chē)等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅?、高可靠性器件的需求?/p>

總體而言，國(guó)內(nèi)企業(yè)在SiC襯底領(lǐng)域與國(guó)際廠(chǎng)商的差距正在縮小，除了一些特別高端的襯底材料，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商的技術(shù)水平已經(jīng)達(dá)到相當(dāng)高的水平。隨著國(guó)產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)一步突破和國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)配套的完善，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商有望進(jìn)一步縮小與國(guó)際廠(chǎng)商在SiC器件領(lǐng)域的差距。

湖南三安在8英寸襯底領(lǐng)域的進(jìn)展速度和取得的成果顯示了國(guó)產(chǎn)SiC襯底廠(chǎng)商在全球競(jìng)爭(zhēng)中實(shí)力的逐漸增強(qiáng)。

新能源汽車(chē)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展為碳化硅器件帶來(lái)了機(jī)遇和挑戰(zhàn)。國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商在SiC襯底技術(shù)方面取得了重要進(jìn)展，并有望縮小與國(guó)際廠(chǎng)商的差距。這將為碳化硅器件的大規(guī)模制造能力的突破和推動(dòng)新能源汽車(chē)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供支持。

編輯：黃飛